MIKASA光刻机

基础信息

：USHIO 牛尾（旗下 MIKASA 米卡萨）产品名称：MIKASA 接触式光刻机 Contact Aligner 产品类型：接触式 UV 光刻对准曝光设备 核心特点：接触 / 接近式紫外曝光，显微镜目视对准，将掩膜版图形转移到光刻胶，是实验室、小批量 MEMS 加工主流光刻机，可与同系列匀胶、显影、蚀刻设备成套使用。

核心产品亮点

1. 高精度目视对准搭载双目显微镜，手动精密调节 XY、θ 角度，掩膜与基板对位操作直观，满足微纳图形对准需求，适合研发打样。

2. 接触式曝光方式掩膜与基板贴紧曝光，分辨率*；支持接触、接近两种曝光模式，适配不同光刻工艺需求。

3. 配套牛尾 UV 光源搭载 USHIO 紫外光源，曝光能量稳定；可搭配 UIT 系列光量计监测曝光能量，保障工艺重复性。

4. 适配多种基板硅片、玻璃、陶瓷、柔性基板均可加工，样品尺寸灵活，高校实验室、MEMS、微流控、光学器件研发常用。

5. 整套产线一体化和 MIKASA 匀胶机、显影机、蚀刻机组成完整微纳加工工艺链路，设备间工艺匹配度高。

应用场景

✅ MEMS 微机电系统器件研发与小批量制备 ✅ 微流控芯片、光学光栅、微结构元件加工 ✅ 高校、科研所光刻工艺教学与实验 ✅ 薄膜器件、传感器芯片样品制备