MIKASA匀胶机

MIKASA 匀胶机（旋涂机）

基础信息

：USHIO 牛尾（旗下 MIKASA 米卡萨）产品名称：MIKASA 匀胶机 Opticoat 系列（图中型号 MS-150） 产品类型：旋转涂胶设备（Spin Coater，匀胶机），光刻工艺前段核心配套设备 核心特点：依靠高速旋转离心力，在硅片、玻璃基板表面涂布均匀光刻胶，牛尾光刻整套工艺的前道设备。

备注：MIKASA 为牛尾旗下光刻工艺设备子，牛尾是该系列设备国内代，整套光刻产线（匀胶 + 光刻机 + 紫外光量计）统一归属 USHIO 牛尾产品线。

核心产品亮点

1. 高精度转速控制多段程序调速，转速稳定可控，通过离心力实现光刻胶薄膜均匀成膜，可*调控薄膜厚度，满足微米 / 亚微米薄膜制备。

2. 可编程多段工艺支持多步旋涂程序储存，预旋、高速旋涂、干燥分段设置；可存储多组工艺配方，不同光刻胶、不同基板快速调用。

3. 腔体防腐洁净设计不锈钢整机腔体，耐腐蚀，可抵御各类有机溶剂、光刻胶侵蚀；带废液收集，适配洁净实验室环境。

4. 适配多种基板规格可夹持硅片、玻璃、陶瓷等圆形 / 方形基板，适配研发小样品、中小尺寸基板，高校实验室、MEMS、半导体研发广泛使用。

5. 操作便捷数字面板直观显示转速、时间；按键可编程，带安全保护，开盖停机联锁，操作安全。