MIKASA显影机

基础信息

：USHIO 牛尾（旗下 MIKASA 米卡萨）产品名称：MIKASA 显影机 产品类型：光刻工艺后道显影处理设备 核心特点：光刻曝光完成后，对基板上光刻胶进行喷淋显影，溶解掉感光区域光刻胶，把掩膜图形*终呈现出来，是牛尾整套光刻产线后道配套设备。

核心产品亮点

1. 精密喷淋显影系统多组喷淋管路，显影液均匀喷洒在基板表面，药液流量、喷淋时间可控，显影一致性好，图形边缘轮廓清晰。

2. 可编程工艺配方触摸屏操作界面，可编辑、存储多套显影程序；可设定喷淋时长、药液温度、清洗、干燥等工序，一键调用不同工艺方案。

3. 防腐洁净腔体整机采用耐化学腐蚀材质，可耐受显影液、去离子水等各类化学试剂；带废液收集回路，适合洁净车间使用；黄色遮光窗口，防止光刻胶意外感光。

4. 多基板适配兼容硅片、玻璃、陶瓷等多种材质基板，适配 MEMS、微流控、光学元件、半导体样品处理，可搭配同系列匀胶机、光刻机成套使用。

5. 安全保护设计配置急停按钮、安全联锁，开盖保护；具备工艺状态监控、故障报警功能，保障实验与生产安全。

应用场景

✅ MEMS 器件、半导体样品光刻后显影工艺 ✅ 微流控芯片、光栅、光学元件图形制备 ✅ 高校科研所实验室光刻工艺研发 ✅ FPC 柔性基板、薄膜器件曝光后处理 ✅ 与 MIKASA 匀胶机、USHIO 光刻机组成完整光刻工艺流程