MIKASA蚀刻机

基础信息

：USHIO 牛尾（旗下 MIKASA 米卡萨）产品名称：MIKASA 蚀刻机 产品类型：光刻工艺图形转移后段湿法蚀刻设备 核心特点：在显影完成后，利用化学药液对基板裸露基材进行喷淋式腐蚀，将光刻胶上的图案转移到基板本体，属于整套光刻工艺流程核心后段设备。

核心产品亮点

1. 喷淋式湿法蚀刻系统多管路喷淋设计，蚀刻药液均匀喷洒基板表面，蚀刻速率稳定可控，保证图形侧壁垂直度与蚀刻均匀性，有效控制过刻。

2. 触摸屏可编程工艺触控操作面板，可编辑存储多套蚀刻配方，自由设定喷淋时间、药液流量、冲洗、排液等工序，不同材质基板一键切换工艺。

3. 强防腐腔体结构腔体、管路采用耐强腐蚀特种材质，可兼容多种酸、碱类蚀刻液；配套废液收集回路，适配洁净车间环境。

4. 多基板兼容适配硅片、玻璃、金属薄膜、陶瓷基板，可处理 MEMS、微流控、光学元件等样品，和同系列匀胶机、显影机、光刻机成套配套。

5. 完善安全防护配备红色急停按钮、舱门安全联锁，开盖自动停止工艺；内置故障监测报警，规避化学药液操作风险。

应用场景

✅ MEMS 微机电器件湿法蚀刻加工 ✅ 微流控芯片、光学光栅、光学元件制备 ✅ 高校实验室、科研所光刻工艺研发 ✅ 薄膜金属层图形化加工 ✅ 搭配 MIKASA 匀胶机、显影机、牛尾光刻机，组成完整光刻产线