价格
¥99,999.00
型号
FCV-C
品牌
TOFCO 东富科
所在地
厦门市
更新时间
2026-09-18 17:43:54
浏览次数
次
TOFCO 东富科 流量控制阀 FCV-C
接液部件:PFA、PTFE 全氟树脂,无金属接触药液,杜绝金属离子析出、微粒污染
仪表外壳:工程塑料
高控制分辨率,步进电机 4800 细分调节,微小流量微调精度高,满足湿法工艺精密配比需求。
宽量程比 1:50,单台阀可覆盖大范围流量调节区间,减少项目备货型号数量。
全氟树脂接液结构,耐强酸强碱,适配纯水、各类半导体腐蚀药液,无离子溶出污染高纯流体。
紧凑小型化本体,设备机柜内部安装占用空间小,便于多阀集成排布。
多设备组网能力,Modbus RTU 通讯,*多串联 32 台控制阀,上位机集中管控多路药液回路。
两种设定方式可选,支持模拟量信号或者通讯方式设定流量,适配不同设备 PLC 控制系统。
高速阀门动作响应,快速调整阀芯开度,应对管路压力波动,维持工艺流量稳定。
半导体湿法清洗设备、LCD/OLED 面板湿制程、光伏化学品输送回路、精细化工高纯药液配比系统。
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TOFCO 东富科 流量控制阀 FCV-C
产品简介
FCV-C 为步进电机式反馈型流量控制阀,属于独立调节阀,需要外接流量计采集流量信号,构成闭环流量控制系统。产品采用全氟树脂接液结构,专为半导体湿法、LCD/OLED 面板湿制程的纯水与腐蚀性化学药液精密调节开发。依靠高分辨率步进电机驱动阀芯,接收外部流量计反馈信号,自动调整阀门开度,稳定控制管路药液流量。分为 FCV-C40、FCV-C60、FCV-C80 三个子型号,适配不同流量区间。
✅核心参数
驱动方式:高性能步进电机,阀行程* 1.5mm,* 4800 步控制分辨率
流量控制范围:15mL/min~30L/min,多档位可选(C40 小流量,C80 大流量),量程比可达 1:50
阀门响应:C40 全开约 0.3s,C60/C80 全开约 1s;流量稳定时间 C40 约 1s,C60/C80 约 2s
介质温度:0~60℃
工作压力:0.05~0.3MPa (G)
供电电源:DC24V
信号接口:模拟量信号输入;Modbus RTU 通讯,*多可串联 32 台设备;搭载报警输出
管路连接:1/4"、3/8"、1/2"、3/4" PFA 软管接头