TOFCO 东富科 流量控制器 FLC4000R

产品简介

FLC4000R 是一体化药液流量控制器，集成超声波流量传感器 + 气动控制阀 + 控制回路，专门针对半导体湿法、LCD/OLED 面板湿制程的纯水与腐蚀性化学药液开发。产品将流量测量与闭环控制整合为一体，通过气动阀快速调节管路流量，即使上游供给压力波动，也可稳定维持设定流量，是小流量高纯药液配比、清洗回路的核心控制仪表。

✅核心参数

• 控制原理：超声波流量检测 + 气动阀闭环流量控制

• 流量精度：±1% FS

• 流量范围：30mL/min～5000mL/min，分多档规格（G08：30~300mL/min；G10：50~5000mL/min）

• 介质温度：0～50℃，使用温度 20℃

• 工作压差：≥0.05MPa，供给压力 0.05~0.3MPa (G)

• 供电电源：DC24V

• 信号接口：4-20mA 模拟量设定输入；4-20mA 流量反馈输出；可选 0~5V /1~5V；2 点继电器报警输出

• 阀门驱动：气动式，响应速度快，全开至全闭约 0.3 秒，流量调节响应约 1 秒

• 管路连接：1/4"、3/8" PFA 软管接头