价格
￥99,999.00
型号
USF500S
品牌
东富科 TOFCO
所在地
厦门市
更新时间
2026-09-18 16:33:54
浏览次数
次
东富科 TOFCO 超声波流量计 USF500S
接液主体管路：PFA 全氟烷氧基树脂（无金属接触介质，无离子析出）
超声波传感探头：PFA 封装
密封 O 圈：标准 FKM 氟橡胶
放大器外壳：PBT 工程塑料
信号电缆护套：标准 PVC，可选 ETFE 耐化学线缆
✅可测：纯水 DIW、IPA 异丙醇、双氧水 H₂O₂、硫酸、磷酸、盐酸、氢氟酸、臭氧水、半导体研磨浆料（微量固体） ❌不可测：各类气体、高粘度液体、大量固体颗粒浓浆、强渗透性溶剂
接液全 PFA 材质，高纯无金属析出，耐强酸强碱，*匹配半导体、面板湿法清洗工艺；
管路内部无运动部件，不会发生堵塞，流体压力损失很小；
DSP 数字信号算法，相比普通超声波流量计，可耐受药液里微量气泡，测量稳定性更强；
分体式结构，流量传感器装在药液管路，放大器安装在设备机柜，拆装维护便捷；
模拟量 + 通讯双输出，支持多台仪表组网，方便产线集中采集流量数据；
提供高温选型方案，覆盖多种高温药液工况。
半导体湿法清洗设备、LCD / 面板湿制程、光伏化学品输送回路、纯水循环系统。
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东富科 TOFCO 超声波流量计 USF500S
产品简介
USF500S 是分体式超声波液体流量计，专为半导体湿法工艺设计，采用全 PFA 直通管路结构，管内没有叶轮、浮子等活动部件，压损极低、无金属离子析出。依靠超声波传播时间差原理测量液体流量，搭载 DSP 信号处理算法，具备不错的抗微量气泡能力；传感器和显示放大器分体安装，电缆可拆卸，方便机柜布线与维护。主要用于纯水、半导体高纯化学药液的流量监测。
✅核心参数
测量原理：传播时间差式超声波流量计（仅测液体，不可测气体）
测量精度：±1.0% RD（读数），低于量程 10% 时 ±0.1% FS
流量范围：0.05～80L/min（根据 G08/G10/G15/G20/G25 子型号口径区分）
公称通径：1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"
*工作压力：≤80℃介质时 0.5MPa (G)；高温版本* 0.2MPa (G)
介质温度：标准 5～80℃，高温选型*可达 200℃
供电电源：DC24V
输出信号：4-20mA 模拟量、RS485 Modbus，*多支持 31 台仪表组网串联
安装方式：管路直装，传感器与放大器分体式安装