一、产品基础概述

DSP251 属于大阪真空 DSP NEW 系列紧凑型干式螺杆真空泵，业内俗称大版干式真空泵，整机无油干式结构，取消传统同步齿轮润滑系统，从根源省去润滑油维护；标配气镇阀、内置旁通快速抽气回路，仅需供电即可运行，无需冷却水配套，适配洁净高真空工况，整机通过 CE、SEMI、NRTL 国际行业安全标准，日系科研、半导体设备原装标配真空主机。

型号命名释义

DSP251

• DSP：Compact dry 紧凑型干式螺杆真空泵系列

• 251：规格代码，基准抽速 230L/min 小型便携机型同系列扩容款为 DSP501（500L/min 大流量款）

二、核心技术参数

1. 抽气速率

• 无气镇：230 L/min

• 开启气镇：200 L/min

1. 极限真空度

• 无气镇：0.5 Pa

• 开启气镇：2 Pa

1. 管路接口：吸气口 KF25、排气口 KF25 标准真空快装接口

2. 供电规格：单相 AC100~230V 宽电压，功率 450VA

3. 冷却方式：整机风冷，无需外接冷却水

4. 整机重量：16kg，双手提手便携搬运

5. 控制接口：D-sub15 针信号接口，支持中控联动启停、故障报警

6. 标配配件：气镇阀、排气消音器、前置粉尘过滤器、3 米电源电缆

三、核心结构与工作原理

1. 无同步齿轮螺杆转子核心结构

摒弃传统螺杆泵同步齿轮润滑机构，电机直驱对称螺杆转子啮合旋转，转子无接触间隙密封，全程不使用润滑油，不存在油雾返流污染真空腔；螺杆等螺距螺旋结构，排气无压力脉动，运行振动极低。

2. 分级干式抽气工作流程

1. 大气快速抽气阶段内置旁通回路，大气压区间大抽速快速排空腔体，大幅缩短建真空时间；

2. 螺杆逐级压缩抽气两组螺旋转子同步旋转，将腔体气体持续输送至排气端，多级压缩逐步提升真空度；

3. 气镇防潮防凝露功能标准内置气镇阀，可通入干燥氮气，抑制水汽、有机溶剂蒸汽在泵内部凝结，适配含水汽、挥发溶剂的工艺工况；

4. 风冷散热闭环整机外壳集成隔音散热风道，自带静音风机循环散热，连续 24 小时稳定运行不温。

四、六大核心产品优势

1. 完全无油洁净真空，杜绝样品污染

无润滑油、无油蒸汽返流，不会污染晶圆、光学镜片、精密检测样品，满足半导体、医疗、分析仪器高洁净真空要求，远优于油式旋片泵。

2. 免维护长周期运行，大幅降低运维成本

无同步齿轮结构，无需定期更换润滑油、油封、密封件；常规实验室工况连续运行数年无需拆机保养，省去耗材采购、停机检修成本。

3. 小型轻量化 + 便携提手，安装场景无限制

整机仅 16kg，两侧配备防滑搬运提手，台式、机柜内嵌、移动实验台均可摆放，无需固定土建基础，老旧实验室改造直接替换原有油泵。

4. 低振动低噪音，实验室友好型设备

螺杆转子无排气脉动，整机加厚隔音外壳，运行噪音远低于同规格干泵；振动极小，不会干扰电镜、精密光谱仪高精度检测数据。

5. 风冷免水冷，配套条件极简

仅接入单相市电即可工作，无需冷却水塔、循环水管路，小型实验室、便携车载设备、野外科研平台均可适配。

6. 宽电压 + 工业级中控通讯，自动化产线适配

100~230V 通用电压，支持 D-sub15 针远程信号联动，可接入 SEM、PVD 镀膜、自动化负载锁腔 PLC 系统，实现自动启停、故障预警联锁。

五、主流适用行业场景

1. 半导体微电子领域：晶圆光刻设备、Load Lock 真空载物腔、离子源、电子枪配套前级泵；

2. 精密分析仪器：SEM 扫描电镜、透射电镜、质谱仪、X 射线检测仪真空抽气；

3. 医疗真空设备：医用真空腔体、生物样本冻干、无菌检测设备；

4. 工业镀膜工艺：小型 PVD 磁控溅射、光学镜片蒸镀设备；

5. 高校 / 企业研发实验室：材料真空烧结、溶剂脱泡、真空吸附试验平台；

6. 加速器、精密科研装置：小型粒子加速器、真空探针台配套真空机组。

六、选型实用指南

1. 小型腔体、单台电镜、实验室桌面设备：优先选DSP251；

2. 大型镀膜机、多腔体负载锁、大容积真空腔：升级同系列DSP501大流量机型；

3. 含水汽、有机溶剂挥发工艺：务必开启标配气镇阀，防止内部凝露腐蚀转子；

4. 自动化产线配套：选用带 D-sub 通讯接口版本，对接设备中控系统；

5. 洁净度严苛半导体工况：前端配套 KF25 粉尘过滤芯，保护转子不受颗粒磨损。