SF-3/200 高速光谱干涉厚度计大塚電子 Otsuka

价格
￥26,666.00

型号
SF-3/200

品牌
大塚電子Otsuka

所在地
广东省

更新时间
2026-06-29 19:44:15

浏览次数
次

    一、产品概述

    SF-3/200 是 SF-3 系列中专为200mm（8 英寸）硅晶圆、SiC/GaN 功率器件晶圆研磨、背面减薄、CMP 抛光产线定制的光纤分体式在线厚度监测主机，采用单侧反射分光干涉检测原理，* 5kHz 高速采样，适配 8 寸晶圆自动化研磨密闭腔体 Inline 实时厚度监


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