二、测量原理
搭载MCPD 多通道高速分光检测器搭配显微透射 / 反射双光路,宽光谱光源经显微物镜聚焦至单像素 R/G/B 色块;采集全波段透射、反射干涉光谱,内置拟合算法同步解算色度坐标、光密度 OD、薄膜厚度、折射率 n / 消光系数 k;配套 CCD 视觉系统实现自动对焦 AF、像素自动对位,无需人工定位微小像素,支持多点全域自动扫描,批量输出面板均匀分布数据。
光谱测量范围:标准 380~780nm(可见光),可选 220~1600nm 宽波段模组
显微光斑:标配 φ20μm 透射光斑、φ40μm 接收光斑,适配微小像素阵列
检测器:标配 MCPD 多通道分光光度计,可选 PMT 光电倍增管(弱光高精度)
载物台:X-Y-Z 三维电动平台,行程覆盖 50×50mm~3650mm 大尺寸基板,支持手动 / 全自动切换
视觉系统:高清 CCD 相机、自动对焦 AF、像素自动识别对位
单次测量速度:毫秒级单点光谱采集,批量面板全自动扫描
样品适配:玻璃基板厚度 0.5~1.1mm,兼容 LCD、OLED、Mini LED 彩色滤光片基板
通讯:支持 MES、上位机 Recipe 程序存储,批量检测数据自动导出
透射光谱、全波段透过率曲线
色度参数:XYZ、xy、Lab*、u’v’、色差 ΔE、白平衡判定
反射光谱、反射色度
光学浓度 OD(黑矩阵 BM 遮光性能)
像素线宽尺寸测量
薄膜厚度、光学常数 n/k 解析
R/G/B 彩色像素、黑矩阵 BM、ITO 导电层、PI 配向膜、光刻胶 PR、OC 保护层
CF 制程一站式综合检测单台设备覆盖滤光片全制程管控指标:色度、OD、膜厚、像素尺寸,无需多台仪器切换,大幅节省产线与实验室设备投入。
自动对焦 + 像素智能对位,微小像素高精度测量CCD 视觉自动识别像素阵列,自动对焦消除基板翘曲、厚度差异带来的误差,微小像素也可稳定重复测量,适配高 PPI 高端显示面板。
Recipe 全自动批量检测存储多套面板检测程序,一键启动整片基板全域扫描,自动生成均匀度云图、SPC 统计报表,实现无人值守质检。
双光路透射 + 反射一体化设计同时支持透射测彩色像素、反射测 ITO / 黑矩阵,完整覆盖显示基板各类薄膜层评价。
宽基板兼容,多世代产线通用从小尺寸 50mm 研发样品到大世代 TV 玻璃基板均可适配,实验室抽检、产线终检一机通用。
长期量产稳定,数据可追溯分光检测器低漂移设计,7×24 小时连续检测重复性优异,原始光谱与检测数据完整存档,满足显示行业品质追溯规范。
LCD 液晶显示:TN/IPS/VA 面板 R/G/B 彩色滤光片、BM 黑矩阵、OC 保护层来料与制程抽检
OLED 显示:彩色滤光片基板、像素色阻、封装薄膜光学性能验证
Mini/Micro LED:彩色滤光片、色转换膜色度与遮光 OD 检测
光刻胶材料研发:RGB 色阻、黑色光刻胶 OD、透光光谱实验室评测
车载显示:车载大屏滤光片基板白平衡、色差批量管控
LCF 系列主机、显微透射反射光学模组、MCPD 分光检测器、CCD 视觉自动对焦系统、电动 XYZ 载物台、标准校准滤光片、分析软件、中文操作手册、原厂出厂检测报告
PMT 光电倍增管模块:弱光薄薄膜高精度测量
大尺寸基板延伸载台:适配 8.5 代、10.5 代大玻璃基板
自动上下料机构:产线全自动无人检测
宽紫外 / 近红外光谱拓展模组:220~1600nm 全波段测量
MES 数据对接系统:检测数据实时上传工厂管理系统
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一、产品基础信息
:大塚电子 Otsuka完整型号:LCF-5100全称:LCF-5100 彩色滤光片光谱特性测量装置设备外观:图中大型封闭式全自动量产机型,搭载三色警示灯、分段式观察视窗、大行程基板载台,适配 FPD 产线大尺寸玻璃基板离线全自动检测产品定位:面板工厂量产大型分光检测设备,面向 LCD/OLED 彩色滤光片、TFT 玻璃基板全制程在线 / 离线终检,支持整片大世代基板全自动全域扫描,可集成自动上下料机构,满足 7×24 小时量产品质管控。