主要特点

防爆结构

发射器：JPEx 防爆型 Ex db IIC T6 Gb
接收器：JPEx 防爆型 Ex db IIC T6 Gb

一种采用可调谐二极管激光器的激光吸收光谱法的原位激光气体分析仪。

对氧气浓度变化反应迅速。采样不会造成反应时间延迟。

利用内置在线参考池进行自校准，可确保长时间测量结果的稳定性。

通过动态校正粉尘浓度的变化，它可以处理粉尘浓度较高（10克/立方米或更低）的环境。

采用单波长激光器可实现高选择性。

工作原理

工艺气体中含有的氧气等气体分子具有吸收近红外光的特性，气体浓度可通过吸收强度来确定。由于该吸收带（波长）随分子类型而变化，因此通过精心选择待测分子的吸收波长，即可在不受其他分子干扰的情况下测量气体浓度。由内置于发光传感器单元的二极管激光器产生的近红外波长激光，经聚焦透镜和窗口后投射到工艺气体中。投射的激光被工艺气体中的氧分子吸收，然后被光接收传感器单元接收。光接收传感器单元内置在线参考池，激光穿过该参考池到达光电探测器。西门子专有的曲线拟合算法用于根据接收到的激光计算氧气浓度，从而消除工艺气体压力波动和背景气体对测量值的影响。此外，在线参考池中密封有氧同位素（18O2），通过参考该^{18O2的吸收信号}_，^激光器可以不断进行自校准，从而实现长时间的稳定测量_。