产品概述

HiPace 700 系列属于大抽速等级涡轮分子泵，泵体集成驱动模块，无需外置控制器，支持任意方位安装。分为复合轴承与全磁悬浮轴承两大类别，覆盖通用工况、大气体负载、高氢压缩、磁悬浮洁净真空、低磁场精密仪器多种细分场景。必须搭配前级泵协同工作，实现高真空、高真空，适配大型科研腔体、镀膜、半导体工艺、大型检漏设备。支持防腐涂层、多种法兰、冷却方案、工业通讯接口选配。

核心参数

• 基础本体型号：HiPace 700、HiPace 700 M、HiPace 700 P、HiPace 700 H、HiPace 700 Plus

• 氮气抽速：685L/s

• 极限真空：＜5×10⁻¹⁰hPa

• 进气法兰：DN160 ISO‑K、DN160 ISO‑F、DN160 CF‑F 金属密封可选

• 排气接口：DN25 KF，G1/4" 破空口

• 冷却方式：标配水冷，可选强制风冷，冷却水消耗 120L/h

• 防护等级：IP54

• 各本体版本定位

• HiPace 700：标准复合轴承，通用工业、科研工况

• HiPace 700 M：5 轴全磁悬浮轴承，无接触无润滑，高洁净真空

• HiPace 700 P：工艺大气体负载版本，耐受大通量工艺气体

• HiPace 700 H：转子针对氢气、氦气优化，轻气体高压缩比

• HiPace 700 Plus：低杂散磁场、低振动，面向精密分析设备

• 驱动单元

• 复合轴承机型：TC400，24V DC /48V DC

• 磁悬浮 700‑M：TM700，48V DC

• 通讯：标配 RS485；可选 Profinet、EtherCAT、DeviceNet 工业总线

• 衍生配置后缀

• ‑K：防腐涂层版本，适配腐蚀性工艺气体

• 可选配件：前级真空泵、KF/CF 密封组件、通讯线缆、风冷风扇、破空阀、减震底座、吹扫组件

产品优势

1. 驱动单元集成泵体，省去外置控制器，节约柜体安装空间，整机集成便捷。 2. 版本覆盖齐全，通用、工艺、磁悬浮、高氢压缩、低磁场机型齐全，匹配不同真空诉求。 3. 大抽速输出，适合大容积腔体；转子高精度动平衡，运行噪音低、振动水平*。 4. 复合轴承抗冲击震动，润滑脂长效，支持现场轴承更换；磁悬浮版本无机械磨损，近乎免维护，获得无碳氢污染洁净真空。 5. 支持多角度任意安装；完整运行状态监测，转速、温度、运行时长可读取，支持远程启停，可扩展工业总线对接自动化系统。 6. 法兰接口丰富，橡胶密封、金属 CF 密封可选；‑K 防腐版本适配腐蚀性工艺气体；水冷、风冷两种冷却方案按需选配，可加装吹扫组件保护轴承区域。

使用注意事项

1. 涡轮分子泵必须配套前级泵，禁止大气压直接启动，前级压力达标后方可启动泵体。 2. 抽取粉尘、腐蚀性工艺气体，选用‑K 防腐版本，进气前端加装前置过滤装置，必要时配置吹扫。 3. 水冷机型管控冷却水流量与进水温度；风冷机型预留充足通风空间，防止过热保护停机。 4. 高速运转状态禁止剧烈撞击，搬运移动务必停机静置后操作。 5. 复合轴承机型按照累计运行时长开展轴承维护更换；磁悬浮版本虽无轴承磨损，仍需定期巡检运行状态。 6. 不适合直接抽除大量水汽、大颗粒粉尘。

应用场景

大型科研高真空腔体；各类镀膜设备；半导体工艺腔体；离子刻蚀设备；大型氦质谱检漏腔体；质谱、电镜等精密分析仪器；对真空洁净度、磁场、气体负载有不同要求的工业真空平台。