山东省德州市电子行业净化车间洁净度检测--安衡检测

电子车间净化工程-对半导体、微电子、光电技术、光学仪器、PCB、LEDLCD、SMT等电子产品工艺要求，电子车间净化级别从 10级，100级，1000级，万级。净化的程度也直接影响了电子产品的质量。

℃之间，相对湿度在45%~70%。地面、墙面和工作台等表面导静电性能应采用符合精度要求的高阻计检测。在表面上人活动区域选定一组2点间或几组2点间检测。

电子行业净化车间洁净度检测  目前对于大规模集成电路生产车间空调系统具有以下特点：1、大规模集成电路工艺布置多采用开放环境结合微环境的方法，在保证产品质量的同时，还可达到减少建设投资、降低运行费用的目的。

10万级室内空气参数需求： 1.新风量大。由于这类车间内，人员比较多，能够依据以下数值应取下列的*值：非单向流洁净室送风量的10-30%;补偿室内排风和坚持室内正压值所需的新鲜空气量；确保室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3 /h。

应当按以下要求对洁净区的悬浮粒子进行动态监测：（一）根据洁净度级别和空气净化系统确认的结果及风险评估，确定取样点的位置并进行日常动态监控。（二）在关键操作的全过程中，包括设备组装操作，应当对A级洁净区进行悬浮粒子监测。生产过程中的污染（如活生物、放射危害）可能损坏尘埃粒子计数器时，当在设备调试操作和模拟操作期间进行测试。A级洁净区监测的频率及取样量，应能及时发现所有人为干预、偶发事件及任何系统的损坏。灌装或分装时，由于产品本身产生粒子或液滴，允许灌装点≥5.0μm的悬浮粒子出现不符合标准的情况。（三）在B级洁净区可采用与A级洁净区相似的监测系统。可根据B级洁净区对相邻A级洁净区的影响程度，调整采样频率和采样量。（四）悬浮粒子的监测系统应当考虑采样管的长度和弯管的半径对测试结果的影响。

检测指标：温度、相对湿度、照度、照度、噪声、静压差、悬浮粒子数、换气次数、过滤器捡漏、沉降菌 ?

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