光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0005mm（0.5um）
测量精度：3um+L/200 重复精度：3um+L/200
Z轴高性能伺服电机，双重闭环控制系统
摄像机：日本SONY CCD 视频放大倍数：30-230x
镜头：NAV高清变倍镜头/连续放大倍率0.7-4.5x
可配0.5物镜，放大倍率：15-115x
可配2x物镜，放大倍率：60-460x
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