一、产品概述

L 系列气动闸阀是美幸辉中大口径高真空气动隔断闸阀，采用双作用气动驱动结构，专注高真空管路通断隔离。阀体采用纤薄紧凑结构，大幅节省设备安装空间，优化真空抽气流通效率。阀板非全程接触式运行，低摩擦、低产尘；搭载球压式均衡密封结构，抗压差、密封稳定；阀体采用 SUS304 真空钎焊无死角工艺，低放气、低漏率。适配常压 10⁵Pa 至 10⁻⁵Pa 高真空全工况，通径覆盖 DN65~DN250，广泛应用于半导体辅助腔体、科研真空炉、锂电真空除气、工业高真空设备管路自动化隔断工艺。

二、核心产品特征

1. 单阀一体实现高真空管路完全通断隔断，纤薄阀体简化管路布局，节约设备安装空间，提升整体抽气效率。

2. 阀板仅闭合密封阶段接触阀座，启闭全程无摩擦接触，从根源减少粉尘析出，适配洁净真空制程，避免腔体污染。

3. 采用球压式均匀密封结构，密封受力均衡，抗压差性能优异，管路正负压力波动下依旧保持密封稳定，杜绝漏气失效。

4. 标准双作用气动气缸驱动，启闭响应迅速，可直接搭配电磁阀、接入 PLC 开关信号，适配自动化时序联动工艺。

5. 不锈钢阀体真空钎焊一体成型，内部无积气死角，气体吸附与析出量极低，满足高真空设备严苛密封标准。

6. 铝合金轻量化阀体设计，整机自重轻，降低管路支架负荷，现场安装、改造、维护更加便捷。

三、完整详细技术参数

1. 基础型号规格

标准系列：L 系列气动真空闸阀法兰定制后缀：‑J（JIS 日标）、‑ISO、‑CF 高真空法兰、‑KF 快拆卡箍法兰公称口径：65A、80A、100A、125A、150A、200A、250A（DN65~DN250）产品系列：L 系列气动高真空隔断闸阀：MIYUKI 美幸辉日本原厂真空阀门驱动方式：双作用气动气缸驱动

2. 真空泄漏性能

阀体壳体氦检漏率：≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s阀座密封氦检漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s阀杆轴封氦检漏率：≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s密封等级：高真空级，稳定适配 10⁻⁵Pa 工艺环境

3. 压力工况范围

工作真空区间：常压 10⁵Pa ~ 高真空 10⁻⁵Pa压差启闭能力：阀体两端压差状态可平稳启闭，无卡滞、无密封失效工作气源压力：0.4~0.6MPa 洁净干燥压缩空气适用介质：干燥空气、氮气、氩气、半导体常规惰性工艺气体；禁止高浓度卤素、强腐蚀酸性气体长期使用

4. 材质明细

介质接触件（阀体、阀板、法兰）：SUS304 不锈钢镜面抛光，低放气、低粉尘析出，万级洁净室装配出厂阀板主密封：FKM 氟橡胶密封垫，腐蚀工况可升级 Kalrez 全氟醚密封圈阀杆轴封：FKM 氟橡胶 O 型圈阀体基座：高强度铝合金轻量化材质气动驱动外壳：铝合金压铸 + 阳极氧化防腐外壳

5. 温度耐受参数

阀体*烘烤温度：150℃，烘烤作业需避开气动驱动头部气动气缸允许环境温度：≤40℃标准长期工作环境温度：10℃ ~ 40℃

6. 气动驱动系统参数

驱动结构：双作用气动气缸直线往复驱动控制适配：支持电磁阀气路切换、PLC 开关信号联动控制工作模式：两位式全开 / 全关硬性隔断（无节流调节功能）供气要求：无油干燥洁净压缩空气

7. 结构寿命参数

闸板运行行程：直线往复两位式通断安装方式：无角度限制，水平、垂直、倒装均可安装标准工况使用寿命：循环启闭≥100 万次密封无失效振动限制：安装基座振动幅度≤0.1mm，避免驱动定位偏移

8. 标配与选配配件

标准配置：阀体本体、气动驱动总成、原厂法兰密封垫片可选配件：光电全开全关检测传感器、电磁阀控制模组、加长气源气管、CF 高真空法兰套件、KF 卡箍快拆法兰组件

四、工作原理

工控 PLC 配合电磁阀切换气路，控制双作用气缸往复动作，带动内部 SUS304 阀板直线滑移；阀门闭合时阀板均匀压合球压密封面，形成严密真空屏障，完全阻断管路气流；阀门开启时阀板脱离密封面，管路完全导通，实现真空抽气。阀体真空钎焊无死角结构搭配低摩擦运行设计，持续压低放气量与粉尘析出，长期稳定保障高真空管路密封与洁净性能。

五、典型应用场景

1. 半导体制造设备：辅助工艺腔体、镀膜设备、等离子清洗设备真空支路通断隔断，适配中等洁净真空管路系统；2. 高校科研真空设备：大容量高温烧结炉、真空镀膜测试腔体、实验真空设备管路开关隔断；3. 新能源锂电产线：动力电池电芯批量真空除气、精密元器件真空封装管路通断隔离；4. 通用工业真空设备：真空烘箱、真空存储腔体、真空热处理设备管路截止，适配狭小紧凑管路布局。

六、产品核心优势

1. 高气动隔断阀，替代高端伺服阀完成常规通断工况，大幅降低采购成本，纤薄阀体适配紧凑设备空间；

2. 非接触式启闭结构，从根源抑制粉尘产生，适配半导体、锂电洁净制程；

3. 球压式均衡密封抗压差能力强，应对管路压力波动不泄压、不漏气，运行稳定性高；

4. 三级漏率管控设计，真空钎焊无死角阀体，放气量极低，完全匹配高真空工艺标准；

5. 多法兰规格可定制，兼容日系、国产、进口设备新装与老旧管路改造，通径覆盖全中大口径工况；

6. 气动控制简单稳定，可快速接入自动化产线，百万次启闭寿命，运维成本低、耐用性强。