完整型号:L‑100A‑J通径规格:100A(DN100)法兰标准:JIS 日标法兰驱动方式:双作用气动气缸产品定位:中大口径薄型真空隔断闸阀,适配半导体、锂电、工业真空设备主支路管路通断,兼顾低粉尘洁净性能与自动化稳定运行。
薄型大口径阀体,管路布局省空间轻量化铝合金底座搭配薄阀身,相比传统闸阀占用安装空间更小;内腔通径流畅无节流,提升整套真空机组抽气效率,适配设备紧凑机架布局,拆装改造便捷。
非接触启闭结构,低产尘适配洁净制程阀板仅闭合密封瞬间贴合阀座,开关全程无持续金属摩擦,颗粒物析出量极低,避免污染腔体晶圆、电芯试样,满足半导体、新能源中等洁净真空工艺要求。
均衡球压密封,压差工况零泄漏多点位球压密封设计,管路两端存在正负压力差时仍可紧密密封;SUS304 不锈钢腔体真空钎焊一体成型,内腔无积气死角,低放气、低漏率,稳定支持 10⁻⁵Pa 高真空工况。
全自动气动控制,百万次耐久免频繁维护双作用气缸驱动,启闭响应迅速,搭配电磁阀即可对接 PLC 自动化产线;无安装角度限制,水平、垂直、倒装均可;标准工况循环启闭寿命≥100 万次,长期使用故障率低。
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完整型号:L‑100A‑J通径规格:100A(DN100)法兰标准:JIS 日标法兰驱动方式:双作用气动气缸产品定位:中大口径薄型真空隔断闸阀,适配半导体、锂电、工业真空设备主支路管路通断,兼顾低粉尘洁净性能与自动化稳定运行。
四大核心优势
薄型大口径阀体,管路布局省空间轻量化铝合金底座搭配薄阀身,相比传统闸阀占用安装空间更小;内腔通径流畅无节流,提升整套真空机组抽气效率,适配设备紧凑机架布局,拆装改造便捷。
非接触启闭结构,低产尘适配洁净制程阀板仅闭合密封瞬间贴合阀座,开关全程无持续金属摩擦,颗粒物析出量极低,避免污染腔体晶圆、电芯试样,满足半导体、新能源中等洁净真空工艺要求。
均衡球压密封,压差工况零泄漏多点位球压密封设计,管路两端存在正负压力差时仍可紧密密封;SUS304 不锈钢腔体真空钎焊一体成型,内腔无积气死角,低放气、低漏率,稳定支持 10⁻⁵Pa 高真空工况。
全自动气动控制,百万次耐久免频繁维护双作用气缸驱动,启闭响应迅速,搭配电磁阀即可对接 PLC 自动化产线;无安装角度限制,水平、垂直、倒装均可;标准工况循环启闭寿命≥100 万次,长期使用故障率低。