可选后缀拓展（法兰标准定制，原厂可选）

可在基础口径型号后追加法兰制式后缀适配管路标准：

1. ‑JIS：日标法兰（半导体日系产线*通用），例：BJ4‑100A‑JIS

2. ‑ISO：ISO 国际标准法兰

3. ‑CF：CF 高真空刀口法兰（适配10−5Pa高真空严苛工况）

4. ‑KF/NW：快拆卡箍法兰，用于需要频繁拆装检修的管路

二、产品核心特征

1. 一体式流导调控：单个阀体就能实现管路完全密封截断、真空电导连续调节，无需加装多路节流元件，简化真空管路布局。

2. 耐压差启阀能力：阀体两侧存在真空 — 大气压差时可正常开启，适配腔体泄压、破真空工序，规避压差卡住蝶板的故障。

3. 高精度重复定位：伺服直驱结构搭配精密齿轮减速箱，蝶板开度复刻精度优异，多次循环启闭的流量输出稳定性强。

4. 多样化可编程控制模式：依托上位控制信号，可自定义蝶板开启幅度、阀门启闭速率，适配缓慢泄压、稳压节流、快速通断等差异化工艺需求。

5. 大通量 + 耐用性强：蝶阀流通截面积大，适配高排量真空排气工况；阀体结构、密封件耐长期往复启闭，使用寿命长。

6. 开度外置可视化点检：配备外部机械式角度指示器，不用拆解阀体就能直观查看蝶板实时开度，方便日常巡检、故障排查。

三、规格参数详情

表格

四、工作原理

上位工控设备向三菱伺服驱动器下发开度指令，伺服电机经由高精度齿轮箱减速，带动阀杆与不锈钢蝶板旋转；蝶板转动会改变管路内部气体流通截面积，以此调节真空管路排气流量、管路真空压力；伺服系统自带位置闭环反馈，可自动修正开度偏差，保障节流参数统一；阀体法兰对接真空管路，氟橡胶密封圈实现管路真空密封。

五、主流应用场景

1. 半导体制程设备：真空镀膜、晶圆刻蚀、等离子清洗腔体的排气节流、阶梯泄压，可控的抽气速率可减少晶圆工艺不良。

2. 科研真空装置：真空烧结炉、材料测试真空腔体的调压泄压，平缓气压变化，避免试样因压力剧变受损。

3. 新能源工业产线：锂电池电芯真空除气、器件真空封装管路，平衡多工位真空抽吸速率。

4. 厂区集中真空管网：车间真空主排气管做流量管控，缓冲排气冲击，稳定管网整体真空度。

六、选型型号说明

基础型号格式：BJ4-公称口径，基础型号：BJ4‑25A、BJ4‑32A、BJ4‑40A、BJ4‑50A、BJ4‑65A、BJ4‑80A、BJ4‑100A、BJ4‑125A、BJ4‑150A、BJ4‑200A、BJ4‑250A；可追加后缀定制法兰规格：‑JIS（日标法兰）、‑ISO（国际标准法兰）、‑CF（高真空刀口法兰）、‑KF（快拆卡箍法兰），举例：BJ4‑100A‑JIS。

七、产品竞争优势

1. 伺服闭环节流控制，开度重复精度远普通开关型电动蝶阀，可实现精细的真空稳压管控；

2. 10−9量级低漏率、SUS304 接触材质，契合半导体洁净高真空严苛要求；

3. 压差可开启的结构设计，适配复杂泄压流程，降低阀门卡滞故障概率；

4. 开度、启闭速度可编程，可便捷对接工厂自动化控制系统做联动控制；

5. 外置开度指示器降低运维难度，多档口径规格，适配新项目安装、老旧真空管路改造。