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现货进口日本原装ULVAC爱发科LR3601-R多级罗茨式干式真空泵

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现货进口日本原装ULVAC爱发科LR3601-R多级罗茨式干式真空泵

价格

￥7,000.00

型号

LR3601-R

品牌

ULVAC爱发科

所在地

深圳市

更新时间

2026-03-05 15:47:23

浏览次数

次

产品简介

多级罗茨式干式真空泵型号：LR3601-R

轻型空调

产品描述

通过在低温范围内均匀加热泵体，该泵不仅适用于 PVD 工艺，也适用于排气装卸室，在这些地方，缩短排气时间对于提高吞吐量至关重要。

特征

低温范围内均匀加热（型号：LR）
除了 PVD 工艺外，它还特别适用于排气装卸室，在这些地方，缩短排气时间对于提高吞吐量至关重要。
它配备了氦气密封罐式电机，结构密封，非常安全。
采取措施防止发生持续时间不过 1000 毫秒的瞬时断电。
优异的耐腐蚀性
：主要部件采用特殊的表面处理工艺，标配高表面硬度和优异的耐腐蚀性，减少腐蚀性气体排出时泵内部的腐蚀。
通信功能：
可读取泵运行状态和警告/报警历史记录等数据。通过使用软件并与计算机通信，可实现集中监控。

目的

成膜设备（溅射设备/蒸发设备等）
缩短准备和移除室的排气时间
作为辅助排气泵（用于涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）

规格

模型			LR60	LR90	LR180	LR421	LR421-T
*泵速	50赫兹	立方米/小时^（升/分钟）	62 (1030)	112 (1860)	183 (3100)	440 (7333)
	60赫兹	立方米/小时^（升/分钟）	80 (1333)	126 (2100)	237 (3950)	440 (7333)
极限压力			5.0 帕
*进气压力（吸力压力）			气压
*出口压力（排气压力）			1帕 ≈ 大气压
进气口（CE规范）			VG50(KF50)	VG80(KF50)		VG100
排气口			KF40			VG50
大量的		公斤				5
电力 *1	三相	交流电（赫兹）	200 (50/60), 220 (60)			180~240 / 380~440 (50/60)
当前值	稳定状态	一个	6.9（200V时）	11.2（200V时）	18.9（200V时）	20.8（200V时）
	*限度	一个	7.3（200V时）	11.8（200V时）	20.6（200V时）	48.5（200V时）
冷却水临时压力		兆帕	0.1~0.3			0.2~0.5
冷却水进/出口压差		兆帕	>0.1			>0.2
冷却水流量		升/分钟	>5.0			>4.0
吹扫气体	一次压力	兆帕	0.1~0.5
	二次压力	兆帕	0.05~0.1
N2吹扫	轴	空间光调制	5
	加斯巴拉	空间光调制	0~45			没有任何	0~45

*1 请在订购时注明。

模型			LR300	LR600	LR1200	LR1800	LR3601	LR3601-T(TT)	LR3601-R	LR3601-TR(TTR)
泵		DRP	LR60	LR90	LR90	LR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T
		MPB	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A	PRC-036C	PRC-036C(-T)	PRC-036D	PRC-036D(DT)
*泵速	50赫兹	立方米/小时^（升/分钟）	359 (5,980)	653 (10,900)	1,012 (16,900)	1,701 (28,350)	3,200 (53,333)
	60赫兹	立方米/小时^（升/分钟）	365 (6,080)	701 （11,700）	10.51亿（17500）	1,784 (29,700)	3,200 (53,333)
极限压力			0.67 帕
*进气压力（吸力压力）			气压
*出口压力（排气压力）			1帕 ≈ 大气压
进气口（CE规范）			VG80 (KF80)		VG100 (KF100)	VG150 (KF100)	VG150
排气口			KF40				KF50
MBP表面处理			〇 *2	〇 *2	〇 *2	〇 *2	×	T:× TT:×	×	TR：× TTR：〇
大量的		公斤	275	370	420	545	660	720	660	720
电力 *3	三相	交流电（赫兹）	200 (50/60), 220 (60)				180~240 / 380~440 (50/60)
当前值	稳定状态	一个	7.0 （200V时）	12.3 （200V时）	13.7 （200V时）	21.4 （200V时）	31.0（200V时） 20.5（400V时）		35.4（200V时） 20.5（400V时）
	*限度	一个	9.6 （200V时）	19.0 （200V时）	24.2 （200V时）	39.8 （200V时）	58.4（200V时） 40.5（400V时）		82.0（200V时） 40.5（400V时）
冷却水临时压力		兆帕	0.1~0.3				0.2~0.5
冷却水进/出口压差		兆帕	>0.1		0.1~0.3		0.2~0.5
冷却水流量		升/分钟	>5.0				>4.0
吹扫气体	一次压力	兆帕	0.1~0.5
	二次压力	兆帕	0.05~0.1
N2吹扫	轴	空间光调制	5
	加斯巴拉	空间光调制	0~45				无 *4	0~45	无 *4	0~45

*2 对于 LR300、LR600、LR1200 和 LR1800 MBP，您可以选择是否进行表面处理。
*3 请在订购时注明。
*4 我们还可以根据应用情况，提供可使用气体镇流器的规格报价。

配件

■消音器

模型

材料

表面
处理

大量的

连接法兰

LR
300

LR
600

LR
1200

LR
1800

LR
3601

LR
60

LR
90

LR
180

LR
421

LR
421-T

RS-01 +
套件 A

SUS
304

GBB
治疗

4.1
公斤

KF40

〇

-

-

-

-

〇

〇

-

-

-

RS-01 +
套件 B

KF40

-

〇

〇

-

-

-

-

-

-

-

RS-02 +
套件 A

8.3
公斤

KF40

〇

-

-

-

-

-

-

〇

-

-

RS-02 +
套件 B

KF40

-

〇

〇

〇

-

-

-

-

-

-

RS-03 +
套件 A

抛光板

12.5
公斤

KF50

-

-

-

-

-

-

-

-

〇

〇

RS-03 +
套件 B

-

-

-

-

〇

-

-

-

-

-

排气速度曲线

LR60	LR90
LR180	LR421-T
LR300 / LR600	LR1200
LR1800	LR3601(-R / -TR / -TTR)
LR3601(-T / -TT)

方面

LR60	LR90
LR180	LR300
LR421	LR421-T
LR600	LR1200
LR1800	LR3601
LR3601-R	LR3601-T
LR3601-TR	LR3601-TT

型号：LR 支持页面

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