原装进口日本ULVAC爱发科HR90多级罗茨式干式真空泵

价格
¥6,000.00

型号
HR90

品牌
ULVAC爱发科

所在地
深圳市

更新时间
2026-03-05 15:47:23

浏览次数

    多级罗茨式干式真空泵型号:HR90

    轻型空调

    通过将泵体均匀加热到高温范围,
    该泵能够以气态形式排出 CVD、蚀刻等过程中产生的可升华废气物质。

    特征


    • 可以将化学气相沉积、蚀刻等工艺过程中高温区域浸泡产生的可升华废气以气态形式排出。
      “UR 型”设备甚至可以达到比“HR 型”设备更高的温度。

    • 它配备了氦气密封罐式电机,结构密封,非常安全。

    • 采取措施防止发生持续时间不过 1000 毫秒的瞬时断电。
    • 优异的耐腐蚀性
      :主要部件均采用特殊的表面处理工艺,具有较高的表面硬度和优异的耐腐蚀性,可减少泵在排出腐蚀性气体时内部的腐蚀。
    • 通信功能:
      可读取泵运行状态和警告/报警历史记录等数据。通过使用软件并与计算机通信,可实现集中监控。

    目的

    • CVD设备
    • 蚀刻设备
    • 灰化装置
    • ALD、ALH 等。

    规格

    模型 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
    DRP HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
    MPB - - PRC-003A PRC-006A PRC-012A
    *
    泵速 
    50赫兹 立方米/小时
    升/分钟)
    62(1030) 112(1860) 359(5,980) 653(10,900) 1,012(16,900)
    60赫兹 立方米/小时
    升/分钟)
    80(1333) 126(2100) 365(6,080) 701(11,700) 1,051(17,500)
    极限压力 宾夕法尼亚州 5 0.67     
    *进气压力
    (进气压力)
    大气压*1
    *出口压力
    (排气压力)
    宾夕法尼亚州 1 至大气压
    进气口(CE规范) VG50(KF50) VG80(KF50) VG80(KF80) VG100(KF100)
    排气口 KF40
    大量的 公斤 0 420
    电力 三相 交流电(赫兹) 200(50/60), 220(60)
    当前值 稳定状态 一个 7.1
    (200V时)
    11.2
    (200V时)
    7.8
    (200V时)
    12.9
    (200V时)
    15.4
    (200V时)
    *限度 一个 7.3
    (200V时)
    11.8
    (200V时)
    8.1
    (200V时)
    13.8
    (200V时)
    18.9
    (200V时)
    冷却水临时压力 兆帕 0.1~0.3
    冷却水进/出口压差 兆帕 >0.1
    冷却水流量 升/分钟 >5.0
    吹扫气体 一次压力 兆帕 0.1~0.5
    二次压力 兆帕 0.05~0.1
    N2吹扫 空间光调制 5
    加斯巴拉 空间光调制 0~45

    *1 请勿在入口压力为 200 Pa 或更高时连续操作 HR300、HR600 或 HR1200。

    方面

    • HR60HR60_en_size.png
    • HR90HR90_en_size.png
    • HR180HR180_en_size.jpg
    • HR300HR300_en_size.jpg
    • HR600HR600_en_size.jpg
    • HR1200HR1200_en_size.jpg
    以上信息由企业自行提供,信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责,仪器仪表交易网对此不承担任何保证责任。
    温馨提示:为规避购买风险,建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。

    其他推荐产品

    玉崎科学仪器原装现货EIKO SOKKI荣光测器EP-617电控气动转换器
    玉崎科学仪器原装现货EI
    ¥2,900.00
    玉崎科学仪器原装现货EIKO SOKKI荣光测器EP-616电控气动转换器
    玉崎科学仪器原装现货EI
    ¥2,900.00
    玉崎科学仪器原装现货EIKO SOKKI荣光测器EP-615电控气动转换器
    玉崎科学仪器原装现货EI
    ¥2,800.00
    玉崎科学仪器原装现货EIKO SOKKI荣光测器EP-614电控气动转换器
    玉崎科学仪器原装现货EI
    ¥2,800.00
    玉崎科学仪器原装现货EIKO SOKKI荣光测器LSP10同轴穿轴式张力拾取器传感器
    玉崎科学仪器原装现货EI
    ¥5,500.00
    玉崎科学仪器原装现货EIKO SOKKI荣光测器LSP05同轴穿轴式张力拾取器传感器
    玉崎科学仪器原装现货EI
    ¥5,200.00
    玉崎科学仪器原装现货EIKO SOKKI荣光测器LSP01同轴穿轴式张力拾取器传感器
    玉崎科学仪器原装现货EI
    ¥5,000.00
    您是不是在找:
    真空泵循环水式多用真空泵低温冷却液循环泵低温循环高压泵恒流泵计量泵取样泵抽气泵水泵蠕动泵恒流泵其它

    首页| 关于我们| 联系我们| 友情链接| 广告服务| 会员服务| 付款方式| 意见反馈| 法律声明| 服务条款