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半导体应用主要为MUTSUMI‑GC 绿碳化硅微粉,用于 12 英寸硅片砂浆切片、晶圆 Lapping 粗研磨、半导体硬脆基材加工,不覆盖 CMP 后段化学机械抛光。
1、颗粒管控优势(核心亮点)
颗粒形貌可控:通过粉碎工艺管控颗粒形状,形成锋利切削刃口,切片、研磨时切削能力稳定,适配硬脆半导体材料加工。
多维度粒度严格管控:对粒径、Dv‑30(累积 3% 粒径)、平均粒径、Dv‑94(累积 94% 粒径)四项指标做规格限定,严控大颗粒杂质,大幅降低硅片出现划痕、崩边、表面损伤的风险,适配 12 英寸大尺寸硅片生产要求。
粒度规格覆盖广:#240‑#6000 完整粒度区间;粗粒度用于硅锭切片,细粒度用于硅片、陶瓷基板精磨,同一系列可覆盖切片到粗研磨全工序。
2、原料与理化性能优势
精选高纯度绿碳化硅原料,化学稳定性好,耐酸碱,研磨过程不易向硅片引入金属杂质污染工件。
材料硬度高、自锐性良好:颗粒加工中适度碎裂,持续生成新锋利刃口,切削效率稳定,不会快速钝化,保证切片、研磨工艺一致性。
导热性能比较好,可以快速带走加工产生摩擦热,减少硅片热应力损伤。
3、品质与量产稳定性优势
完整严格的质量保证体系,批次间粒度、颗粒性能波动小,适合半导体工厂流水线量产使用。
每一档粒度均提供标准化粒度指标数据表;可配合客户做粒度定制开发。
4、配套方案优势
作为综合磨料厂商,除研磨微粉外,可配套砂轮、研磨设备、辅料,能够提供磨料粉体 + 工艺配套的一体化方案,方便客户工艺调试。
适配砂浆切割、自由研磨浆料(Lapping slurry)两种使用形态。
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