价格
￥4,806.00
型号
L81SS
品牌
YUTAKA丰
所在地
暂无
更新时间
2026-10-22 11:45:57
浏览次数
次
| 类型 | L81SS | L81SH | L81SS-N20 | L81SS-CO | L81SS-NH3 |
|---|---|---|---|---|---|
| 气体接触段 | |||||
| 主机 | SUS316 | ||||
| 调节阀杆 | SUS316 L |
哈氏合金® C -22 |
SUS316 L | ||
| 阀座 | SUS316 L |
哈氏合金® C -22 |
SUS316 L | ||
| 隔膜 | 哈氏合金® C -22 | SUS316 L |
哈氏合金® C -22 |
||
| 阀座 | PCTFE（Diflon®） | 聚酰亚胺树脂 |
PCTFE （Diflon®） |
氨 片材 |
|
| 减震弹簧 | SUS316 | 哈氏合金® | SUS316 | ||
| 压力表接头密封垫圈 | 尼 | SUS316 | 尼 | ||
| 非气体接触部分 | |||||
| 调节器盖 | SUS316 | ||||
| 压力调节手柄 | ABS树脂 | ||||
| O型圈 | 北俄勒冈州 | ||||
| 非抛光表面（B级） | 抛光规格（A级） | |
|---|---|---|
| 气体接触部件的表面处理 | Ra 值小于等于 0.80μm | Ra 值小于等于 0.18μm |
1/4” 端面密封接头端面间距（公头和母头相同）…………………………………约 100 毫米
【备注】
■ 压力表连接接头的标准尺寸和形状为 1/4 英寸端面密封外螺纹接头。
■ 进/出口接头的类型、尺寸和形状（外螺纹、内螺纹）组合可从零件编号表中选择。 ■ 除 UJR® 、 VCR®和CVC®
以外的接头，其端面间距可能与标准端面间距有所不同。
其他推荐产品
会员服务热线：010-62681193
展会合作/友情链接：010-62681114
京公网安备 11010802023672号
功能
高压
焊接金属垫片接头
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和
除有毒气体以外的其他气体
；气体设备。
标准流速
约60NL/分钟
目录
词汇表
基本性能描述
操作说明
特征
L81系列产品专为半导体工艺制造气体设计，采用两级减压结构。其基本结构包括外部金属密封和焊接接头，从而实现了优异的外部泄漏和颗粒物防护性能。两级减压结构使其不易受初始压力波动的影响，确保压力和流量的稳定。此外，它还适用于液化气体绝热膨胀导致温度显著下降的气体。
规格
入口压力 14.8 MPa 或更低（*值 19.6 MPa）
调节压力 *值 0.99 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.8 MPa、0-0.99 MPa）
原始压力波动 入口压力：每 0.000007 MPa 的调节压力变化，入口压力增加 0.1 MPa。
耐压性 22.2 MPa（入口侧）
变异系数 0.03
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
内部容积 8.9 厘米（不含压力表和配件）
大量的 约 2.0 公斤
安装方法 前后面板均采用安装螺母进行固定。
外部视图