日本进口小坂研究所微细形状测定机 ET4000A
日本进口小坂研究所微细形状测定机 ET4000A

【高精度·高再现性】
ET4000A再现性1σ 0.5nm以内，测量范围100μm，Z轴*分辨率0.1nm，真直度0.1μm/100mm，实现极高的测量精度。

【电动Y轴搭载】
配备电动Y轴，行程150mm，Y轴真直度5μm/100mm。支持全自动多点测量，可在无人值守情况下完成多个测量点的自动定位与测定。

【直动式检测器，微小测量力对应】
搭载直动式检测器，*小测定力0.5μN（0.05mgf），软质样品也可实现高精度测量。测定力可在0.5μN~500μN范围内任意设定。

【全自动测量+丰富解析功能】
检测器自动停止、自动测量、自动上升，配合X/Y轴移动，实现全自动测量流程。支持段差、间距等形状解析及表面粗糙度解析。选配三维解析软件可实现三维微细形状测量。

技术规格参数表

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