日本 爱发科 ULVAC 罗茨式真空泵 NB300B
日本 爱发科 ULVAC 罗茨式真空泵 NB300B
【洁净的真空】
NB300B 腔体内没有润滑油,可获得洁净的真空环境。对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。抽速达 280 m³/h(50Hz),极限压力 4.0×10⁻¹ Pa。
【高吸入压强下运作】
选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运作。NB300B的吸入口在530Pa以上进行连续运行时,必须用水冷却,冷却水流量为 2.0 L/min。适用于CO2激光设备等高气体负载的系统。
【广泛的用途】
适用于照明、电子、光学、半导体领域的镀膜、溅射、离子镀、液晶注入;真空干燥、冷冻干燥、真空脱气;真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉;分析仪器、检漏设备、CO2激光设备等。
| 参数项目 | 规格 |
|---|---|
| 抽速(50/60Hz) | 280/330 m³/h |
| 极限压力 | 4.0×10⁻¹ Pa |
| 电动机(2极) | 0.75 kW |
| 润滑油规格 | ULVOIL R-4 |
| 所需油量 | 0.70 L |
| 冷却水流量 | 2.0 L/min |
| 质量 | 51 kg |
| 吸气口径(JIS B 2290) | VG80 |
| 排气口径(JIS B 2290) | VF80 |
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日本 爱发科 ULVAC 罗茨式真空泵 NB300B 是一款腔内无润滑油的洁净真空泵。对水蒸气、溶剂等气体有稳定的排气性能。选用大一级电机可在高吸入压强下运作。抽速达 280 m³/h(50Hz)。适用于镀膜、溅射、真空干燥、真空热处理、分析仪器、CO2激光设备等领域。