二、全系列核心规格参数

通用基础参数

1. 极限真空：≤1Pa

2. 运行区间：大气压～1Pa，支持频繁破空、连续高压高负荷工作

3. 电机：多电压兼容感应电机，支持 200V/380V 工业电压，可选防爆电机

4. 冷却：水冷循环冷却，标配移动底座 + 调平脚轮

5. 密封：标准轴封氮气吹扫（洁净工况可低流量运行）

6. 排气接口：统一 KF40 快装法兰；吸气法兰按型号匹配标准真空法兰

各型号抽速参数

表格

三、七大核心技术优势

1. 高负荷耐受设计，适配频繁破空腔体多段罗茨压缩结构强化高压段排气能力，可长时间反复完成大气抽真空循环，*匹配镀膜设备负载锁（装载腔）快速抽气需求，大幅提升设备单批次吞吐量，缩短上下料等待时间。

2. 无油干式洁净真空，零油污污染泵腔内部无润滑油，转子与泵体非接触式运转，不会产生油蒸汽反流，保障腔体内部洁净，适配光学镀膜、电子元件加工等高洁净生产要求，无废油处理成本。

3. 简化稳定结构，降低维保成本基于成熟半导体干泵架构简化设计，零部件数量更少、故障率低；转子、密封件模块化拆分，现场即可单独更换损耗件，整机拆解、检修耗时短。

4. 通用电机方案，适配各类厂区供电标配宽电压兼容感应电机，200V/380V 厂区线路直接适配；支持定制防爆电机，可用于化工、锂电等有防爆需求的真空产线.。

5. 一体式移动底座，安装灵活整机集成带脚轮不锈钢机架，搭配调平支撑脚，设备移位、现场布局改造无需额外吊装工具，适配多工位灵活产线。

6. 低振动低噪音量产设计多级转子动平衡校准，运行噪音、振动控制*，无需独立隔音机房，可直接布置在车间产线旁。

7. 适配多工况拓展选配可加装 RS485 通讯模块实现远程运行监测、压力传感器自动控制、气镇吹扫组件，适配自动化产线集中管控。

四、GR、LR、HR 系列工况区分（选型关键）

1. GR 系列：通用工业洁净款，无高温防结垢腔体，仅空气、氮气洁净气体；适用镀膜负载锁、真空干燥、脱泡、气体置换。

2. LR 系列：半导体洁净干泵，适配晶圆负载锁、PVD 溅射，同样无高温加热，仅洁净无粉尘制程。

3. HR 系列：半导体工艺干泵，自带全域高温均热，可处理刻蚀 / CVD 硅粉尘、轻度腐蚀废气，用于晶圆刻蚀、ALD、PECVD 量产设备。

五、主流应用场景

1. 光学 / 电子镀膜设备（核心场景）各类蒸镀、溅射设备负载锁腔体快速预抽真空，提升上下料周转效率；实验室小型镀膜实验台真空排气。

2. 通用工业真空制程真空干燥炉、原料真空脱泡、树脂 / 胶水除气泡、真空热处理退火炉；真空隔热腔体、罐体惰性气体置换、真空充气封装。

3. 锂电、化工洁净产线电芯真空烘烤、电解液脱气；防爆定制机型适配有机溶剂车间洁净真空排气。

4. 检测实验室设备零部件真空老化测试舱、多工位氦检工装、材料表面处理真空设备。

六、配套选型使用说明

1. 独立使用：直接作为腔体预抽主泵；搭配涡轮分子泵搭建高真空机组。

2. 工况红线：禁止用于含氟 / 氯腐蚀气体、硅化物升华粉尘，此类工艺请选用 HR/UR 高温防腐系列。

3. 型号选型：小型单腔体实验设备选 GR60A；中型镀膜机、小型干燥炉选 GR90A；大容积腔体、多工位产线选用 GR180A。

4. 前置配套：粉尘微量工况可加装简易前置过滤器，延长泵内部件使用寿命。