二、核心技术参数

1. 真空性能

• *抽速（氮气）：1000 L/min

• 常压稳定抽速（气镇开启）：800 L/min

• 极限真空：无气镇 1.0 Pa；气镇开启 2.0 Pa

• *水汽处理量：500 g/hr（气镇工况）

1. 管路接口进气口 KF40，排气口 KF40 标准真空快装法兰

2. 冷却与润滑冷却方式：整机强制风冷，内置静音散热风机润滑油容量：90 mL（仅齿轮 / 轴承密闭腔，不接触真空气流）

3. 电气规格供电：AC200~240V 50/60Hz，分单相 / 三相版本电源容量 3000VA；极限真空功耗 1100W，*功耗 1300W电流：单相 11.1A，三相 6.5A，电压允许波动 ±10%

4. 机身参数整机重量 75kg；环境适用温度 5~40℃底部带万向移动脚轮，吊装吊环，方便移位安装

三、结构与工作原理

1. 三级无接触罗茨干式压缩结构泵体内三组流线型罗茨转子同步运转，转子与泵壳、转子间微米级间隙无摩擦，仅齿轮轴承独立密闭润滑腔，润滑油完全隔绝真空气流，全程无油雾返流，保障腔体洁净。宽压力区间稳定维持 800L/min 抽速，大幅缩短腔体建真空时长。

2. 风冷全域散热系统整机一体式风冷风道，泵腔、电机、电控分区独立散热，24 小时连续满载运行无积热，省去水冷机、水管、冷却塔配套，降低设备基建投入。

3. 氮气气镇防潮机制标配可调氮气气镇接口，通入干燥氮气稀释水汽，抑制水汽在泵腔内部液化凝结，*可处理 500g/h 水蒸气，适配含水汽、轻度溶剂挥发工艺。

4. 智能数显控制机身自带 LCD 操作面板，实时显示真空状态、运行转速、故障代码；配备 D-Sub 远程通讯接口，支持 PLC 远程启停、故障报警联锁。

四、产品核心优势

1. 风冷免水冷，安装条件极简无需循环冷却水系统，仅接入单相 / 三相电源即可运行，实验室、小型产线、移动设备均可灵活摆放，节约机房空间与配套设备成本。

2. 大抽速宽区间稳定抽气从常压到极限真空全程保持 800L/min 稳定抽速，中小型腔体粗抽效率高，大幅缩短等待真空时间，提升设备稼动率。

3. 全无油洁净真空，杜绝样品污染真空侧无润滑油接触气流，无油雾反流污染晶圆、光学镜片、检测样品，满足半导体、精密实验室高洁净制程要求。

4. 高水汽耐受，适配含水工况气镇模式下可处理* 500g/h 水蒸气，无需前置复杂冷凝装置，小型冻干、溶剂脱泡、含水样品实验均可使用。

5. 移动便捷，运维简单整机 75kg，底部万向脚轮可自由移位；转子无接触磨损，仅定期少量更换齿轮腔润滑油，无需频繁拆机大修。

6. 远程工业联动适配自动化产线自带通讯信号接口，可联动分子泵、腔体阀门、真空计，实现全自动真空机组控制，适配自动化溅射、Load Lock 流水线。

五、典型应用场景

1. 半导体设备：分子泵前级辅助泵、小型溅射、离子源、Load Lock 传输腔体；

2. 精密分析仪器：SEM 扫描电镜、质谱仪、X 射线检测设备；

3. 光学镀膜：小型 PVD 磁控溅射、光学镜片蒸镀设备；

4. 实验室平台：小型真空热处理炉、真空脱泡、材料真空干燥实验；

5. 通用工业：元器件真空封装、真空吸附搬运、小型真空干燥设备。

六、使用选型注意事项

1. FR060D 为标准洁净机型，仅适配干燥空气、氮气、轻度水汽工艺；含酸碱、卤素、强有机溶剂腐蚀气体需选用防腐系列干泵；

2. 工艺水汽含量高时，必须持续开启氮气气镇，避免水汽腐蚀转子；

3. 设备仅支持风冷散热，禁止封闭机柜无通风环境使用，环境温度控制在 40℃以内；

4. 自动化真空机组配套时，通过 D-Sub 通讯接口对接产线 PLC，实现设备联动控制。