适用场景

1. 半导体 / 光伏：PVD/CVD 真空镀膜、晶圆退火炉、真空腔体残氧监测

2. 新能源锂电：氩气手套箱、真空负极烧结炉、密封注液舱

3. 粉末冶金 / 3D 打印：真空钎焊炉、惰性密闭成型舱

4. 特种气体：高纯氮 / 氩气真空管道在线微量氧检测

产品优势

1. 免取样管路 + 无采样泵，杜绝管路漏气引入空气误差；

2. 分体安装：探头装高温真空炉体，主机装电控柜，避开恶劣环境；

3. 全量程通用：一台兼顾 ppb 微量氧～* 高氧，替代多台 LC 机型；

4. 传感器寿命 3~5 年，空气校准无需标气，维护成本低。