液体喷嘴和载气喷嘴（0.05~4SLM）的双流体喷嘴在汽化室前汇合，以精细地喷洒液体。被微小雾化的液体可以通过辐射热被高效汽化。

汽化室顶部的液体控制阀通过接收液体质量流量计(LM-3000L)的流量信号来调节阀门开度。通过控制流量，可以实现稳定的汽化供给。