(一)测量范围与分度值

（1）X,Y坐标

（6）光学分度头

    测量范围:

     测量范围: 360度

    X: 200毫米 Y: 100毫米

     分度值: 1分

分度值(数显读数): 0.0005毫米

（7）光学定位器:

（2）瞄准显微镜

测头直径（实际直径值的极限,误差不大于0.0005毫米): φ3±0.1毫米

升降行程: 120毫米

力臂倾斜范围: 左右各15度

测量力: 8~14克

分度值: 10分

大测量深度: 15毫米

照明光阑调节范围: φ3~φ32毫米

8）玻璃工作台：

分度值: 1分

玻璃台面尺寸: 215X130毫米

（3）测角目镜

（9）顶针架：

角度测量范围: 360度

大夹持直径:φ180毫米

分度值: 1分

大夹持长度：被测件直径<=55毫米时:750毫米

（4）轮廓目镜

角度测量范围: ±7度

被测件直径〉55毫米时:600毫米

分度值: 10分

（10）高顶针架

圆弧分划板:
曲率半径R0.1~100毫米
梯形螺纹螺距t2~20毫米

大夹持直径:φ180毫米

大夹持长度:600毫米

（5）光学分度台:

（11）星架

测量范围: 360度

左V型架前后调节范围:前后各5毫米

分度值: 10秒

右V型架高低调节范围:向上15毫米

3毫米玻璃台面直径: φ106毫米

向下3毫米

（12）大承载量:40公斤

(二)测量精度

温度要求:

（3）双像目镜

（1）工作室的温度应为20±2℃;

合像的不稳定性 不大于0.0005毫米

（2）工作室的温度变化每小时不过1℃

合像的不正确性 不大于0.001毫米

（3）被测量和仪器的温度差不过0.5℃

（4）光学分度头

在满足所规定的温度要求的条件下，仪器有如下的保证：

大不准确度 不大于1分

（1）X,Y坐标

（5）光学分度台

用玻璃毫米分划尺进行时，仪器的大不准确度：

大不准确度 不大于30秒

0级：（1+L/100)um [式中L----测时长度，单位mm]

（6）光学定位器

（2）测角目镜：

测量的不稳定性 不大于0.001毫米

测量的不准准确性 不大于0.0015毫米

测角角度的大不准确度 不大于1 分

 (三)光学参数

物 镜 放 大

1x

3x

5x

放大倍数

用测角或轮廓目镜

10x

30x

50x

用双像目镜

15x

42x

65x

物方视场（毫米）

用测角或轮廓目镜

φ20

φ6.5

φ4

用双像目镜

φ13

φ4.7

φ3

工作距离（毫米）

用测角或轮廓目镜

81

90

65

用双像目镜

47

85

63

 (四)仪器净重和外形尺寸

主机净重:250kg

外形尺寸:(X x Y x Z) 980 x 1020 x 640 毫米