美幸辉 Miyuki 中间停止功能气动L型阀 AEH 系列
美幸辉 Miyuki 中间停止功能气动L型阀 AEH 系列

【三位置停止，一台实现慢抽与快排】
AEH 系列在标准气动L型阀的全闭和全开之外，增加了中间停止功能。阀体可在全闭到全开的任意中间位置停止，实现慢速排气控制。粗抽阶段将阀体停在中间位置缓慢排气，防止气流剧烈波动扬起颗粒或扰动工件。达到一定真空度后切换至全开快速排气。一台阀门完成传统需要两台阀门配合的慢抽快排控制。

【NW 法兰，中小口径】
AEH 系列口径覆盖 NW16 至 NW50，属于中小口径规格。开放导流能力从 4 L/s（16A）到 73 L/s（50A），适合实验室真空设备和中小型成膜装置。轴密封采用氟橡胶 O 型圈，阀体材质 SUS304。开闭寿命 50 万次。作动空气压 0.4 至 0.6 MPaG，使用压力范围从 10 的负 5 次方 Pa 到 105 Pa。

技术规格参数表：

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