瑞士Inficon英福康真空计   PEG100潘宁真空计  PEG100冷阴极潘宁真空规

INFICON 潘宁真空计 PEG100 提供可靠的真空测量. 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器没有可烧毁的灯丝. 由于钛阴极板和等离子点燃后高电压的降低 真空计还可工作于溅射应用中. 除对数模拟输出讯号外Fieldbus 选项可使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议 容易地集成在真空系统中.

瑞士Inficon英福康真空计   PEG100潘宁真空计  PEG100冷阴极潘宁真空规优势：

宽的测量范围从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴 (7.5 x 10-10 至7.5 x 10-3 乇)

全金属冷阴极传感器(潘宁)带陶瓷馈入件

创新的电极形状提供了*的点燃性能

等离子点燃后降低高电压和钛阴极板降低污染危险性甚至在用氩气的溅射过程中

阳极环和钛阴极易于清洗或更换

真空计邻近*小的磁场强度

LED 指示灯用于指示电源 on 和等离子点燃

对数模拟输出讯号

现场总线接口 (Profibus DB DeviceNet) 为易于集成使用网络通讯的真空系统中

瑞士Inficon英福康真空计   PEG100潘宁真空计  PEG100冷阴极潘宁真空规应用：

高真空压强监测

蒸发和溅射系统

中 高真空范围的一般真空测量与控制