QUAVA 的750kHz、950kHz(高频段)适用于半导体和液晶以及HDD等细微颗粒的除去

振板为不锈钢振板，或者根据用途可制作石英槽，不锈钢清洗槽。

搭载HIMEGA SONIC101系列的清洗装置无需有任何更改即可使用本机型，且功能都具备对应半导体用清洗装置外部控制机能(RS-485、DeviceNet、8段功率设定、各种报警端子等)HI MEGASONIC系列(70110)

清洗均匀、细微的损伤基本没有、*适用于半导体晶片和HDD部品等的精密清洗。
利用10⁵G的加速度和化学的作用除去微米以下的颗粒
可设定对应不同的清洗物以及装置的各种形状的振板。接液部的材质对应于清洗液和洁净度，使用不锈钢·钽·石英等材料来制作。另外、根据用途定制各种要求的振板。
振子使用有较好实绩大型PZT、清洗均匀寿命长。