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首页 >玉崎半导体(深圳)有限公司> 技术文章> 深圳直发FLUORO 福乐 F002‑D‑X‑100 耐化学湿法真空吸笔
深圳直发FLUORO 福乐 F002‑D‑X‑100 耐化学湿法真空吸笔
2026/09/16 19:58:58
玉崎现货,深圳直发。 FLUORO 福乐 F002‑D‑X‑100 属于 F 系列全氟树脂耐化学型真空吸笔,主要面向半导体湿法药液工位晶圆取放作业。阀体 D 为 NO 常开结构,接通真空源之后常态保持吸附状态,按下按键即可释放工件;后端配置 X 万向旋转接头,笔杆可以实现 360° 自由转动,清洗槽、蚀刻槽内部狭小位置作业时,能够灵活调整吸取角度,操作更加顺手。
笔身主体采用 PTFE 全氟树脂材质打造,整体耐强酸强碱以及各类蚀刻有机溶剂,支持药液环境直接使用,区别于 C 系列仅干式使用的款式;配套耐化学 PEEK 吸笔头,吸头经过镜面抛光处理,既可以实现静电耗散,又具备优异抗药液溶胀性能;阀体内部阀芯同样为氟树脂,阀体内壁经过精密抛光处理,发尘量低,金属离子析出少,可直接进行超声波清洗,适配 Class100‑1000 等级洁净湿法制程环境。
整机属于轻量化设计,本体重量约 30g,长时间手持在槽边作业手腕不容易产生疲劳;采用模块化快拆结构,吸笔头作为消耗件可以单独拆装替换,无需更换整支吸笔本体,降低后续耗材使用成本。真空软管兼容 Φ3×5、Φ4×6 规格氟塑料软管,外接真空发生器或者无油隔膜真空泵就可以投入使用;负压适用区间 0‑‑80kPa,负压由外接真空源进行调节,抓取工件重量范围 0.1g‑500g,适配 2‑8 英寸硅晶圆、碳化硅薄片、光学基板的湿法拾取转运。
产品应用场景主要集中在半导体湿法工序:晶圆酸碱清洗槽取放、蚀刻槽上下料、湿法剥离前后的晶圆转运;也适用于光学玻璃薄片、陶瓷基片在药液环境下的人工转移作业;是半导体湿法洁净车间的耐化学手动真空拾取工具。

