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ULVAC(株式会社アルバック,中文:爱发科)前身为日本真空技术株式会社,创立于1952年,是全球*早布局真空商业化应用的企业,部位于日本神奈川县茅崎市,为东京证券交易所上市企业。七十余年来,始终坚守“Ultimate in Vacuum(*真空)”的核心理念,深耕真空物理、精密机械、薄膜工艺、真空检测四大核心技术领域,累计拥有数千项全球核心,构建了行业独有的从粗真空、高真空到高真空的全梯度真空技术体系。
不同于单一品类设备厂商,ULVAC爱发科是行业极少数能够实现“真空获取+真空测量+真空工艺+真空检测”全链条自产的头部企业,产品覆盖大型工业设备、精密仪器、核心元器件、配套配件全品类,广泛服务于全球高端制造产业链,是半导体镀膜、MEMS微纳加工、光学薄膜制备、精密器件封装、新能源材料加工、真空检测实验的刚需配套,也是全球高端真空工艺的技术标准推动者。
涵盖干式涡旋真空泵、油旋片真空泵、分子泵、复合真空泵等全系列产品,其中DIS系列干式涡旋泵为行业爆款,无油污染、低震动、低噪音、免频繁维护,适配洁净度要求极高的半导体、光学、MEMS工艺,解决传统油泵油烟污染、滤芯频繁更换、工艺不稳定等痛点,是高端洁净产线的主流标配。
G-TRAN系列皮拉尼真空计、高精度真空传感器、数字真空仪表,测量精度高、温漂小、稳定性极强,可实时*监测腔体真空度,支持PLC自动化信号对接,广泛用于真空腔体、镀膜设备、键合设备、检测设备的真空闭环管控,保障工艺参数一致性。
HELIOT系列氦质谱检漏仪,是精密器件密封性检测的设备,具备高灵敏度、快速检漏、*定位漏点等优势,适配MEMS传感器、光学器件、真空腔体、精密封装产品的气密性检测,杜绝漏气导致的工艺失效、产品不良问题。
包含溅射镀膜机、真空热处理炉、真空烧结设备、离子刻蚀设备、薄膜沉积设备等,服务半导体晶圆、平板显示、光学镀膜、新能源材料等高端量产产线,是国内头部制造企业进口设备的核心选型。
涵盖真空阀门、真空接头、密封件、靶材、腔体配件等全系列配套物料,实现整机+配件一站式配套,解决客户备件难、型号不匹配、供货周期长等问题。
1、技术壁垒高,工艺适配性行业*:全链条技术,真空控制精度、稳定性、重复性远普通,*匹配MEMS阳极键合、光学玻璃镀膜、精密UV器件封装、半导体微纳加工等严苛工艺,从源头提升产品良率。
2、洁净无污染,适配高端制程:主力干式泵系列无油设计,全程无油烟、无杂质污染,满足半导体、光学器件、精密传感器的高洁净工艺要求,杜绝工艺污染导致的不良率问题。
3、长寿命、低运维成本:设备结构精密耐用,抗震动、抗温变、长期运行光衰与性能衰减极低,可7×24小时不间断量产运行,大幅降低设备停机、维修、更换成本,综合极高。
4、参数*可控,自动化适配性强:全系仪表、设备支持数字信号输出、RS485、PLC对接,可无缝接入自动化产线,实现真空参数实时监控、数据追溯、智能调控,适配智能制造升级需求。
5、国产化服务成熟:爱发科在设立苏州生产基地、上海部及多地服务网点,具备完善的生产、售后、维保、校准体系,保障设备稳定运行与备件持续供应。
ULVAC爱发科全系产品广泛应用于半导体及化合物半导体、MEMS微机电传感器、光学玻璃与光通信器件、平板显示与OLED、新能源锂电与光伏、高端科研实验室、精密检测设备、真空冶金等领域,是高端精密制造不可或缺的核心配套。
七十载技术沉淀,铸就ULVAC爱发科在全球真空领域的**地位。凭借硬核的技术实力、稳定可靠的产品品质、全覆盖的产品矩阵,搭配宫崎科技*化、本土化的渠道服务,可为国内高端制造企业提供高、高稳定性、高适配性的真空整体解决方案,持续助力国内精密制造、半导体、光学产业提质增效、高速升级。
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