大塚电子的膜厚仪，在半导体前工序中主要用于对晶圆上的各种薄膜进行高精度、非破坏性的实时测量。这一需求贯穿从裸晶片到配线工序的整个过程。

简单来说，它们就像生产线的“眼睛”，通过分光干涉法这一核心技术，实时监控膜厚，确保每一道工序的*，从而保障芯片的性能与良率。

大塚膜厚仪都基于分光干涉法，通过分析薄膜表面反射光的光谱干涉图样来**计算膜厚。基于此原理，它们具备以下共同优势：

• 非接触、非破坏：测量过程不接触、不损伤晶圆。

• 高速实时：能实现毫秒级测量，满足在线监控需求。

• 高精度与高再现性：确保测量结果准确可靠。

• 广泛的适应性：可测量从1纳米到1600微米的多种膜层。

• 灵活的集成能力：可通过光纤灵活构建系统，易于集成到各种制造设备中。