信息摘要:
本次学会介绍我司膜厚设备在半导体各工序的测量方案。 从成膜工艺~晶圆研磨过程监控,大气、真空等复杂环境条件下的嵌入式在线厚度测量。对CMP、BG研磨过程监控、OLED成膜工艺在线测量感兴趣的各界人士,请一定收看!您现在的位置::首页 > 资讯管理 > 厂商要闻 > 会议展览
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本次学会介绍我司膜厚设备在半导体各工序的测量方案。 从成膜工艺~晶圆研磨过程监控,大气、真空等复杂环境条件下的嵌入式在线厚度测量。对CMP、BG研磨过程监控、OLED成膜工艺在线测量感兴趣的各界人士,请一定收看!
面向半导体、FPD及光学薄膜行业的在线嵌入式厚度测量,已形成以大塚电子等厂商为代表的成熟解决方案体系。这些方案通过分光干涉法等光学技术与灵活的嵌入式设计相结合,实现了对生产过程的高度集成与实时监控,是保障产品质量与生产效率的关键一环。
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