MIYUKI 美幸辉 R-N16 机械式真空泄压阀结构与调压原理详解

真空腔体完成工艺后通入空气恢复常压阶段，气体流量管控失衡容易形成瞬时正压冲击，高压会损伤真空计、腔体密封件、镀膜基板与真空泵组件。日本 MIYUKI 美幸辉推出 R-N16 纯机械式真空泄压阀，作为独立过压保护元件，依靠弹簧自启结构实现压自动泄放，适配小型 NW16 标准真空管路旁路安装，2026 年光学镀膜、氦检设备、高校材料真空炉、半导体小型腔体配套选用频次持续提升。

一、核心结构与基础规格参数

R-N16 为单功能泄压安全阀，无气动通气结构，区别于集成破真空功能的 VR-N16 型号，整机结构分为阀体、弹簧调压组件、阀瓣密封、泄压接口四部分。

连接规格：标准 NW16（KF16）快拆法兰，搭配通用卡箍即可快速装配在腔体侧路、真空规支管，整机自重仅 0.3kg，占用管路空间偏小；泄压排气端口为 Rc1/8 内螺纹，可外接软管集中排放泄压气体。

压力调节区间：起跳压力可通过顶部旋钮旋转调整，*压力调节范围 0.115~0.170MPa，操作人员无需拆解阀体，现场直接旋转旋钮改变内部弹簧预紧力即可完成压力设定，调试流程简化。

材质与密封：介质接触面采用铝合金阀体，阀瓣做镜面抛光处理，密封件选用氟橡胶 O 型圈，适配常规氮气、氩气、干燥空气等工艺介质；原厂万级洁净装配，整机漏率控制在 1×10⁻⁸ Pa・m³/s 以内，不会对腔体极限真空造成明显影响。

使用环境限制：常规工作温度上限 70℃，内部氟橡胶密封不支持高温烘烤除气工况，仅适用于无持续加热、无强腐蚀等离子的常温真空系统。

二、工作运行原理

设备依靠弹簧弹力平衡腔体内部压力完成自动启闭。腔体内部压力低于设定起跳值时，弹簧压紧阀瓣贴合密封面，阀体保持密封状态，不影响腔体真空维持；当通气恢复常压过程中腔体压力过预设阈值，内部气压克服弹簧预紧力顶开阀瓣，多余气体从侧方 Rc1/8 泄压口排出，腔体压力回落至安全区间后，弹簧推动阀瓣复位闭合，全程无需电控、气源辅助，断电状态下仍可实现安全防护。

整套结构无电磁驱动部件，不会产生电磁干扰，适配搭载高精度真空计、微弱信号采集设备的检测腔体，规避电磁阀启停带来的数值波动问题。

三、设备核心使用特点

无源机械式防护：不依赖压缩空气、供电线路，设备停机、断电通气阶段同样具备过压保护能力，降低无人值守腔体设备损坏风险。

旁路简易安装：仅需在腔体真空规、粗抽管路增设分支接口即可加装，无需改动主真空管路，新旧真空设备改造均可适配。

低放气洁净设计：内部金属部件抛光处理，装配过程无油污残留，适配光学镀膜、半导体晶圆处理等对腔体杂质敏感的工艺场景。

独立安全防护：仅承担压泄压功能，不参与真空破坏进气流程，可与气动真空破坏阀搭配使用，分别实现通气、过压保护两套独立功能，故障互不干扰。

四、主流应用场景

光学镀膜腔体：基板镀膜完成后充氮气恢复常压，防止大流量进气造成腔体瞬时高压划伤光学膜层与真空规探头；

氦检检漏设备：工件检漏结束通气阶段，管控腔体内压力峰值，保护氦质谱检漏仪传感组件；

高校材料实验室真空炉：小型烧结、干燥腔体配套，避免人工操作进气阀门失控带来的正压冲击；

电子元器件封装真空仓：PCB、芯片真空存储腔体通气泄压，保护精密电子元件不受压力冲击。

五、选型与配套使用注意事项

有同步电控破真空需求的工况，可选用同系列 VR-N16 一体阀，集成气动进气结构，减少管路接头数量；仅需单纯过压保护、已有独立真空破坏阀时，优先选用 R-N16 降低采购成本。

长期接触微量腐蚀气体工况，可定期更换氟橡胶密封件，延长阀体使用寿命；高温烘烤腔体不建议选用该型号，可更换金属密封真空安全阀。

泄压口外接管路保持通畅，避免管路堵塞造成泄压失效，定期清理阀瓣表面粉尘、工艺残留，保障阀瓣闭合密封性。