到货公告
各位客户、合作伙伴：大家好！
我司新一批 EBARA 荏原 EV-S20 干式真空泵已完成入库、检验、上架工作，目前库存充足，可正常接单、发货。

EBARA 荏原 EV-S20 干式真空泵完整产品详情玉崎科学仪器（深圳）有限公司原装现货供应

EV-S20整机

EV-S20正面

型号	配置说明	适用工况
EV-S20（标准版）	普通碳钢内腔、无氮气吹扫	洁净气体、实验室、SEM、镀膜 Loadlock、无腐蚀工艺
EV-S20P	标配N₂氮气吹扫装置、普通腔体	微量水汽、轻微腐蚀性挥发气体
EV-S20N	镍合金防腐腔体 + 内置氮气吹扫	弱酸 / 卤素腐蚀气体（HF、BCl₃、Cl₂）、半导体蚀刻、湿制程

无润滑油腔体、转子无接触间隙密封，全程洁净无油雾、不污染腔体样品，不用更换真空泵油、油过滤器。

自带怠速休眠变频，腔体到达设定真空自动降转速，同规格比国产干泵省电 30%；直流驱动，50/60Hz 抽速一致。

机身自带 LCD 智能控制面板：故障代码报警、运行履历存储、可编程联锁、RS485 通讯接口（对接设备 PLC），符合SEMI-S2、CE、NRTL 工业安全标准。

纯风冷无需水冷管路，落地小型化，实验室 / 设备机台内置均可安装。

无机油更换，仅年度清理进气滤芯，维保成本极低。

我司将持续保障货源稳定、供货及时，竭诚为大家提供的产品与服务。

如需询价、订购、索取产品资料及资质文件，可随时与我司对接人员联系。

项目负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸

玉崎科学仪器（深圳）有限公司
2026年 06月 03日

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