高真空微调阀主要性能：

漏率：1.3×10-9Pa.M3/S；
通径：1.0、1.5、3.0毫米三种规格；
耐正压力：0.1MPa～0.6MPa;
耐温、耐腐、耐压；
表中可调量只要乘以测量时的压力状态的压力就是可调量Pa.L/S。

真空微调阀主要零件材料：

体、 杆、阀座、针 304
轴密封件 “0”圈F26