规格

• 类型

  质量流量控制器（MFC）

• 满量程流量范围

  5 - 50000 sccm（N2当量）

• 控制范围

  满量程的 2-*

• *入口压力

  150 psig

• 正常运行压差

  10至5000 sccm；10至40 psid，10000至20000 sccm；15至40 psid，30000至50000 sccm；25至40 psid

• 压力

  1000 psig

• 爆破压力

  1500 psig

• 典型精度

  20% 至 * 满量程范围内，精度为设定值的 ±1%；2% 至 20% 满量程范围内，精度为满量程的 ±0.2%。

• 重复性

  阅读量的±0.3%

• 解决

  占规模的0.1%。

• 零温度系数

  <0.05% 满量程/°C

• 跨度温度系数

  <0.08% 读数/°C

• 入口压力系数

  雷丁/psi 的 <0.02%

• 典型稳定时间

  小于 750 毫秒，通常在满量程的 5% 以上。

• 热身时间

  30分钟

• 工作温度

  10°C 至 50°C

• 储存湿度

  相对湿度0%至95%，无冷凝

• 储存温度

  -20°至80°C

• 外部泄漏完整性

  <1 x 10 -10 (scc/sec He)

• 关闭阀门的泄漏完整性

  在 40 psig 入口压力下，大气压力下满量程的 1.0% 以下

• 湿润材料

  316L 不锈钢 VAR、316 不锈钢、Elgiloy®、镍、KM45

• 重量

  3磅（1.4公斤）

• 遵守

  中央电气

特征

多种数字和模拟接口可供选择

GM50A 数字控制型 MFC 提供模拟或数字 I/O 接口。其数字控制电子元件采用 MKS *控制算法，可在整个控制范围内快速、可重复地响应设定点。典型响应时间约为 500 毫秒。GM50A 的模拟和数字 I/O 接口可轻松替换 1179A MFC 的相应 I/O 接口。所有 GM50A 均包含 Modbus 作为可选的辅助 I/O 接口（PROFINET® 和 EtherCAT® 除外）。

标准 3 英寸占地面积

GM50A 采用 MFC 在 5 sccm 至 50 slm 流量范围内*常用的标准 3 英寸接口，无需修改现有气体管路配置即可使用。

金属密封

GM50A 金属密封 MFC 采用 10 µ 英寸电抛光 316L 表面处理，使该质量流量控制器可用于高纯度应用。

设定点准确率百分比

内置的数字校准功能，使用氮气校准气体，在满量程流量范围的 20% 至 * 内，可实现设定点精度的 1%。设定点精度能够实现的过程控制，而精度则以满量程为基准。对于 2% 至 20% 满量程的质量流量，精度为满量程的 ±0.2%。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面可轻松更改设备量程和用户气体类型，从而减少库存需求。您还可以监控 MFC 功能并现场收集性能数据。

热传感器

经过充分验证的热传感器设计，可提供*的零点稳定性。美国号：5461913。