ULVAC爱发科 全新原装 不锈钢制成 油雾分离器 OMC-050

ULVAC爱发科 全新原装 不锈钢制成 油雾分离器 OMC-050

真空泵系统

LS系列干式螺杆真空泵：在锂电池电极干燥线中广泛应用，抽速覆盖120–1200 m³/h，ECO-SHOCK节能技术降低能耗达30%，实现无油运行，减少油蒸气污染电极材料。

DIS/DISL系列涡旋干泵：用于半导体晶圆传输腔体，启动无需预抽，噪音低于65dB，满足环境要求。

DTC系列隔膜干泵：PTFE流路设计，用于含氯、氟化物气体的蚀刻后处理系统。

VDN/VSN系列油旋片泵：作为辅助泵用于高校实验室真空系统，支持连续7×24小时运行，维护周期长达8000小时。

PST系列溅射离子泵：压力达10⁻⁹ Pa，实现高真空环境下的原子级表面分析。

薄膜沉积设备

VPC系列电阻蒸发设备：紧凑型设计，支持Au、Al、Cr等金属热蒸发，集成PID温控与压力反馈。

EGN/EGO系列电子束蒸发源：EGN用于金属互连层（如TiW、Cu）沉积，EGO光学薄膜（MgF₂、SiO₂），膜厚均匀性优于±2%。

PVD溅射系统：搭配Digital DC电源，支持氧化物（ITO、AZO）与氮化物（TiN、AlN）薄膜沉积，膜层应力可控。

成膜电源系统

DC / Digital DC系列电源：输出精度±1%，具备智能弧光抑制与多通道并联能力（12台），支持远程参数调用与工艺数据记录，符合工艺的标配。

真空传输系统

COVOT系列真空传输机器人：非接触式磁悬浮搬运，定位精度±5μm，传输速度达1.5m/s。

分析与测量仪器

椭偏仪：在线测量薄膜厚度与折射率，响应时间<1s，用于光伏电池AR涂层的实时监控。

真空计（电容式/热导式）：覆盖10⁻¹¹ Pa至10³ Pa量程，与ULVAC设备无缝集成，实现工艺压力闭环控制。

氦质谱检漏仪：灵敏度达5×10⁻¹² Pa·m³/s，用于检测真空腔体与法兰接头的微泄漏，保障纯气体系统的气密性。

真空组件

VLP系列角阀、法兰、电极端子：材质为SUS316L，密封方式涵盖金属密封（CF、KF）与橡胶密封（VCR），尺寸从16A至900A覆盖，支持从大气压至10⁻¹⁰ Pa压强范围。

我司优势一览明细：
CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、PFERD马圈、TEMTOP乐控、JIKCO吉高
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉、OTSUKA大塚电子、TSUBAKI椿本
NS日本科学、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、EBARA荏原、ULVAC爱发科、TORAY东丽
RIYYO理阳、WATSON沃森、KAKUHUNTER写真化学、HEIDON新东科学、NIKKATO日陶、ULVAC爱发科等
USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND爱安德、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤，INTECS，RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计
恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪
接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等