MIYUKI 美幸辉 B‑C50｜CF50 高真空通断蝶阀（科研无油系统）

原装供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司，负责人林经理¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ 

*（www.shashinkagaku.com），办公地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

型号释义

• B：两位式气动开关蝶阀，仅全开、全关，无中间调节开度
• C：CF 刀口法兰（高真空法兰，搭配无氧铜垫圈）
• 50：公称通径 CF50（DN50）

可定制：单作用弹簧复位（失气自动全关）；密封可选 Kalrez 全氟醚；可提供手动版本。

结构与工作原理

1. 齿轮齿条气缸驱动
   标准双作用气缸，只有 0° 全关、90° 全开两个机械位置，不可做 PID 调压、不可慢抽；气缸内置气垫缓冲，启闭冲击小，降低振动，减少密封圈磨损，适合反复启闭科研工况。
2. CF 刀口法兰高真空密封
   法兰刀口挤压无氧铜垫圈实现金属密封，支持高温烘烤除气，适配无油高真空系统；阀体、蝶板 SUS304 镜面电解抛光 EP，放气率极低，适合表面分析、电子束、质谱类设备。
3. 阀位反馈：标配 2 路独立微动开关，输出全开、全关无源接点信号，对接 PLC 实现联锁保护。

⚠️阀体*烘烤温度 200℃；气缸执行机构环境温度≤40℃，严禁烘烤气缸。

双作用版本断气保持当前阀位；选型单作用弹簧复位，失气自动全关，用于安全联锁，防止大气倒灌损坏分子泵。

完整技术参数

典型应用场景（科研无油系统）

1. 科研无油高真空系统、分子泵隔离阀

   扫描电镜、XPS、质谱、电子束蒸发设备，隔离分子泵，停机保护泵组，防止大气倒灌污染腔体；CF 金属密封适配烘烤除气，无油系统低放气需求。
2. 束线设备、小型科研腔体隔断

   腔体维护时隔离泵组，不用整套系统放大气；只做通断隔离，不参与压力调节。
3. 小型薄膜实验设备、小样镀膜、氦检设备

   高真空管路切断，搭配旁路实现慢抽；本阀不具备慢抽能力，慢抽需要额外旁路阀 / BH 系列。

选型边界区分：

• B‑C50（B 系列开关蝶阀）：仅全开全关隔离切断，金属刀口法兰，科研 UHV 系统，无慢抽、无调压；
• BH‑C50（BH 两段缓抽阀）：全关‑慢抽‑全开三机械档位，用于需要预抽防冲击的 CF 腔体；
• BAR‑C50（BAR 电动伺服蝶阀）：0‑90° 连续角度可调，搭配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压；
• G‑C50（G 气动伺服蝶阀）：气源驱动连续 PID 闭环调压。

系统配置方案

选型对比（B‑C50 VS BH‑C50 VS BAR‑C50）

供货与选型提示

1. 供货状态：B‑C50 CF50 高真空蝶阀，部分现货；单作用弹簧复位、Kalrez 密封版本日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
2. 选型避坑：B‑C50 是纯开关阀，无慢抽、无调节功能；CF 法兰必须配套无氧铜垫圈才能实现高真空；不要和普通橡胶密封 KF 版本混淆。

提示：市面存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。