一、核心参数配置

• ‌行程指标‌：单轴有效行程50mm，XY双轴叠加行程50mm×50mm
• ‌精度表现‌：重复定位精度≤±1.2μm，单轴全程累积导程误差≤12μm
• ‌分辨率‌：手动微调旋钮每格进给量5μm，搭配微分头可实现0.5μm级精细进给
• ‌运动性能‌：手动操作*推力13N，水平额定负载69N（7kgf）
• ‌直线度‌：水平方向≤1.5μm/50mm，垂直方向≤3μm/50mm
• ‌物理规格‌：工作台面75mm×75mm，整机高度约39mm，自重约0.5kg
• ‌传动配置‌：精密研磨消隙梯形丝杠+高刚*叉滚柱导轨，全程无空程背隙
• ‌锁紧结构‌：双轴独立刚性锁紧装置，锁紧后平台无位移漂移
• ‌版本特性‌：S3-CL为高精度洁净级定制版本，适配Class 100级及以上高洁净车间场景