类型

PC系列

类型

用于CMP工艺浆液

产品信息

液体接触段的所有部件均由氟树脂制成，使其成为具有高化学耐药性、耐热性和清洁性的泵。
该产品设计适用于CMP工艺浆液应用。

主要组成部分

接收部分：PFA，PTFE

主要用途

用于化学品供应装置、清洗设备和使用浆液的CMP设备的循环管线

规格与规格信息

工作液温：10~100°C
*排气能力：12、24、48升/分钟
供气压力：0.2~0.5MPaG

*请务必在使用前阅读说明书。

类别

氟氧素产品 / 波纹泵