半导体加工行业小型热式DN20概述

AE微量型热式气体质量流量计是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列的传感器均采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。的封装技术使之可用于各类管径，成本低，易安装，不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。

应用领域:航空航天、半导体加工、医疗生物、电子汽车、钢铁冶金、船舶电子、工业制气等行业。

产品特点

大采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片，传感器具有高精度，高灵敏度，抗干扰性强等特点；

传感器的零点稳定；

量程范围内精度高，重复性好；

标准机械接口，安装方便；

RS485通讯输出，标准MODBUS RTU协议；

采用LCD显示瞬时流量和累计流量，清晰直观，读数方便；

4~20mA标准电流信号输出和一路PNP输出(可定制PNP 脉冲输出或者0-5V/0-

10V输出)。

产品参数

工作电源：DC24V/2.5W；

介质温度：-10~+50°C；

输出方式：4-20mA；

精度(%)：+(1.5FS)；

工作压力：≤1.0MPa(可定制压力)，可定制一体式带压力测量显示；

机械连接：BSPT内螺纹和G内螺纹可选详见机械接口连接尺寸；

湿    度：<95%RH(无结霜，无结冰)；

显    示：瞬时流量，累计流量；

通讯方式：RS485(Modbus Rtu协议)；

响应时间：50-1000(ms)。