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扩散器过滤器
价格
电议
型号
0
品牌
京微
所在地
北京市 北京市
更新时间
2024-02-20 16:47:52
浏览次数
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产品简介
精密
产品描述
半导体(液晶)的部分生产过程(CVD、PVD、ETCH、离子注入)需要在真空状态下进行,在进入后道工
序前,要从真空状态恢复到大气压下,进行这一步骤的地方叫做LOADLOCK(真空进样室)。
高速扩散器过滤器可以在由真空恢复到大气压的这一过程中,减少半导体表面的异物附着。
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