ULVAC 爱发科 LS600 干式真空泵 无油干式真空机组 半导体镀膜真空设备介绍

ULVAC 爱发科（アルバック），日本真空行业，半导体、显示行业真空设备核心供应商，业务覆盖真空获得设备、溅射镀膜、蒸发镀膜、刻蚀、PECVD、真空检测仪器，从实验室小型真空设备到晶圆厂大型集群量产设备全覆盖，真空技术积累深厚。

LS600 属于工业干式无油真空泵系列，无油结构设计，腔体内部不使用润滑油，避免油蒸汽返流污染真空腔体，抽速稳定，维护周期长，粉尘耐受性优于很多油旋片泵，是洁净工艺的*真空源。

干式泵的优势就是无油污染，特别适合对腔体洁净度要求高的工艺：等离子清洗、PVD 溅射镀膜、电子束蒸发、MEMS 器件加工、半导体封装、光学镜片镀膜、实验室高真空系统。LS600 可以单独使用，也可以搭配罗茨泵组成真空机组，提升极限真空与抽气效率。

ULVAC 完整真空设备矩阵：DOP 小型摇摆活塞泵，适合低真空、预算有限的小型设备；SMD 系列枚叶式溅射设备，用于 ITO、IGZO、金属薄膜沉积，广泛用于面板行业；CS-200 小型 Load-Lock 溅射机，适合研发和小批量试产；ei 系列电子束蒸发台，用于光学镀膜；NE 系列干法刻蚀设备、CC 系列 PECVD 设备服务晶圆制造。

在半导体、光学镀膜行业，ULVAC 设备的工艺数据库成熟，成膜均匀性、颗粒管控能力突出，很多高校实验室、光学企业、化合物半导体厂商采购 ULVAC 真空设备用于新材料开发。干式泵选型重点看极限真空、抽速、介质粉尘、腐蚀性气体工况，腐蚀性气体工况需要选配防腐版本。