日本 FUJI-TECHNO 富士技术工业 HYSC-60 无脉动精密计量泵 半导体高纯药液定量输送泵详解

FUJI-TECHNO 富士技术工业是日本专注精密无脉动计量输送设备的*厂商，在微量、高压、高粘度流体定量供给领域深耕数十年，核心主打 Super Metering Pump 无脉动级计量泵，在半导体、锂电、精细化工、光学涂层行业认可度高，很多日系原厂涂胶、供液工艺设备原配泵体都选用该产品。区别于普通隔膜泵、柱塞泵流量脉动大、压力波动影响吐出精度的痛点，富士技术工业采用三凸轮交错柱塞结构，三组柱塞交替完成吸入与吐出动作，从原理上避免流量脉冲，这也是它核心的技术壁垒。

本次介绍的 HYSC-60 属于 HYS 系列中流量量产型无脉动计量泵，流量区间覆盖 15.3ml/min～117.8L/min，高吐出压力可达 200MPa，流量再现性可以稳定控制在 ±0.1% 以内，就算后端管路压力、物料粘度发生小幅变化，输出流量依旧保持稳定，流量和主轴转速呈严格线性关系，调试简单。介质适配范围宽泛，可输送粘度 1～100000mPa・s 的物料，介质温度支持 - 30℃～200℃区间。泵头材质支持按需选配 SUS316L、哈氏合金、钛合金、PEEK、PTFE 内衬等方案，高纯工况、强腐蚀药液、研磨性浆料都可以匹配对应的接液材质方案，适配半导体光刻胶、显影液、剥离液、锂电电解液、陶瓷浆料、光学涂层树脂、胶粘剂等高附加值物料输送场景。

驱动方案可搭配变频电机或者伺服电机，支持 4-20mA 模拟量信号、Modbus-RS485 总线通讯，能够直接对接 PLC、上位机系统，产线闭环流量控制、配方切换、流量数据追溯。富士技术工业 HYS 计量泵完整产品线梯度清晰：HYM 系列为实验室小型便携款，适合研发小样调试；HYSA 主打小流量高压工况；HYSB 面向中小流量高压工艺；HYSC 就是这款中流量量产主力型号；HYSD 针对中大流量连续化生产线。除无脉动计量泵之外，FUJI-TECHNO 还生产内齿轮泵、磁力驱动泵、旋片泵等流体设备，磁力泵采用无接触磁耦合传动，避免泄漏风险，适合易燃易爆、高纯化学品输送。

在半导体精密涂胶、狭缝涂布、微量滴加工艺当中，脉动会直接造成涂层厚薄不均、滴胶断胶、胶点大小不一致，影响良率。富士 HYSC-60 无脉动计量泵，能够保障长时间连续生产状态下涂覆一致性，减少因为流量波动带来的产品不良。在选型的时候，除流量、压力之外，还要重点确认物料腐蚀性、固体填料含量、温度，固体颗粒含量高的浆料需要增加过滤组件，同时搭配适配的密封材质。