WP-02系列是ULVAC专为中低真空度、高洁净度应用打造的干式螺旋爪式真空泵。与传统油泵不同，它在压缩腔内完全不需要密封油，从根源上杜绝了油蒸气返流污染工艺腔体的风险。

• *洁净：排气无油雾，无需安装复杂的油雾过滤器，特别适合对碳氢化合物敏感的光学镀膜和半导体工艺。
• 结构创新：采用非接触式的螺旋爪转子设计，转子之间、转子与泵腔之间保持微小间隙，无机械摩擦。这不仅消除了磨损产生的微尘，更大幅延长了设备寿命。

1. *的耐腐蚀与耐溶剂性

在许多化学气相沉积（CVD）或清洗工艺中，工艺气体往往含有腐蚀性成分或易凝结溶剂。WP-02通过优化的气路设计和特殊的表面涂层处理，能够有效防止腐蚀性气体对泵体的侵蚀，并能顺畅排出少量冷凝液，避免泵体卡死。相比普通干泵，其在恶劣工况下的稳定性表现尤为突出。

2. *的节能与静音

得益于高效的电机驱动系统和优化的流体动力学设计，WP-02在提供稳定抽速的同时，能耗显著低于同级别的油旋片泵。其运行噪音控制在极低水平（通常低于65dB），为操作人员创造了更加舒适的工作环境，也符合现代工厂严格的环保降噪标准。

3. “免维护”带来的低成本运营（TCO）

对于工厂管理者而言，WP-02*的魅力在于极低的维护成本。

• 无换油成本：省去了购买真空泵油的费用。
• 无废油处理费：不再需要支付昂贵的危废处理费用，符合日益严格的环保法规。
• 长周期保养：由于无内部摩擦，主要易损件极少，通常只需年度检查即可，大幅减少了因停机保养造成的产能损失。据实际案例测算，使用WP-02替代传统油泵，3年内的综合运营成本可降低30%-40%。