日本原装ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A

日本原装ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A

‌真空泵系统

LS系列干式螺杆真空泵‌：在锂电池电极干燥线中广泛应用，抽速覆盖120–1200 m³/h，ECO-SHOCK节能技术降低能耗达30%，实现无油运行，减少油蒸气污染电极材料。

‌DIS/DISL系列涡旋干泵‌：用于半导体晶圆传输腔体，启动无需预抽，噪音低于65dB，满足环境要求。

‌DTC系列隔膜干泵‌：PTFE流路设计，用于含氯、氟化物气体的蚀刻后处理系统。

‌VDN/VSN系列油旋片泵‌：作为辅助泵用于高校实验室真空系统，支持连续7×24小时运行，维护周期长达8000小时。

‌PST系列溅射离子泵‌：压力达10⁻⁹ Pa，实现高真空环境下的原子级表面分析。

‌薄膜沉积设备

VPC系列电阻蒸发设备‌：紧凑型设计，支持Au、Al、Cr等金属热蒸发，集成PID温控与压力反馈。

‌EGN/EGO系列电子束蒸发源‌：EGN用于金属互连层（如TiW、Cu）沉积，EGO光学薄膜（MgF₂、SiO₂），膜厚均匀性优于±2%。

‌PVD溅射系统‌：搭配Digital DC电源，支持氧化物（ITO、AZO）与氮化物（TiN、AlN）薄膜沉积，膜层应力可控。

‌成膜电源系统

‌DC / Digital DC系列电源‌：输出精度±1%，具备智能弧光抑制与多通道并联能力（*12台），支持远程参数调用与工艺数据记录，符合工艺的标配。

‌真空传输系统

‌COVOT系列真空传输机器人‌：非接触式磁悬浮搬运，定位精度±5μm，传输速度达1.5m/s。

‌分析与测量仪器

‌椭偏仪‌：在线测量薄膜厚度与折射率，响应时间<1s，用于光伏电池AR涂层的实时监控。

‌真空计（电容式/热导式）‌：覆盖10⁻¹¹ Pa至10³ Pa量程，与ULVAC设备无缝集成，实现工艺压力闭环控制。

‌氦质谱检漏仪‌：灵敏度达5×10⁻¹² Pa·m³/s，用于检测真空腔体与法兰接头的微泄漏，保障纯气体系统的气密性。

‌真空组件

VLP系列角阀、法兰、电极端子‌：材质为SUS316L，密封方式涵盖金属密封（CF、KF）与橡胶密封（VCR），尺寸从16A至900A覆盖，支持从大气压至10⁻¹⁰ Pa全压强范围。