在半导体晶圆清洗、光伏制绒、面板湿法制程中，强腐蚀药液、纯水输送管路对阀门洁净度、耐化学性、密封性要求高。日本 ADVANCE（アドバンス電気工業）SAV 系列气动隔膜阀，包含SAV25、SAV45、SAV65三款底座规格，是国内设备集成商常用的日系高纯流体开关阀。

产品材质与结构

SAV 系列接液主体采用高纯 PFA 氟树脂，隔膜为 PTFE 材质，流体侧完全无金属部件，从根源抑制金属离子析出与微颗粒脱落，避免污染晶圆与基板。

隔膜隔离式设计，驱动气缸与药液流道相互隔绝，压缩空气驱动隔膜完成通断动作，介质不会窜入执行机构。支持单体独立安装，也可集成在歧管汇流板上，SAV25、SAV45、SAV65 底座可混合排布，模块化集成，大幅节省设备内部空间。

具备双向承压密封特性，进出口同等压力条件下依旧可靠关断，解决普通单向阀反向渗漏的痛点，介质压力 0.5MPa，介质适用温度 10~100℃。

三款型号定位区分

✅ SAV25：小型底座款，体积紧凑，适配狭小设备空间，小流量药液、纯水支路开关，接口 1/4"、3/8" 居多。

✅ SAV45：中流量主力型号，是湿法台常用规格，兼顾流量与安装尺寸，适配大部分清洗药液回路。

✅ SAV65：大流量规格，管路通径大，适合大流量化学品供给、废液排放主回路。

核心产品优势

1. 强耐化学腐蚀：可耐受氢氟酸、硫酸、双氧水、各类酸碱清洗药液、有机溶剂以及纯水；

2. 高纯洁净低析出：PFA 注塑成型，洁净车间生产，满足半导体、面板高纯流体标准；

3. 歧管通用底座：SAV 全系列底座统一标准，可混装 SAV25/SAV45/SAV65，设计改型灵活；

4. 长使用时间易维护：频繁开关工况稳定，仅隔膜为易损件，单独更换膜片即可完成维保，降低停机成本；

5. 常开 / 常闭可选：可根据工艺安全逻辑选型，还有高温版本适配高温药液工况。

典型应用场景

✅ 半导体湿法清洗、刻蚀药液供给与废液排放

✅ LCD/OLED 面板湿法工艺化学品管路

✅ 光伏制绒、刻蚀高纯腐蚀液输送

✅ 生物医药高纯试剂、纯水系统

✅ 精密化工强腐蚀流体自动化通断控制